TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor on keskeinen komponentti, jota käytetään metalliorgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoitusuuneissa (MOCVD) puolijohteiden epitaksiaalisessa (epi) käsittelyssä. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Tantaali Carbide Coated Plate on huippuluokan ratkaisu, joka on suunniteltu täyttämään puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset, erityisesti epitaksiaalisessa (epi) prosessointivaiheessa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coated Guide Ring, innovaation huippu piikarbidi-yksikidekasvatusuuneissa. Tämä ohjainrengas on suunniteltu täyttämään puolijohdeteollisuuden tiukat vaatimukset, ja se lupaa määritellä uudelleen kiteen kasvuprosessisi verrattoman tarkasti ja luotettavasti.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin huippuluokan TaC-pinnoitettu grafiittisuskeptori, vallankumouksellinen komponentti, joka on suunniteltu nostamaan kiekkojen epitaksiaaliprosessisi tehokkuuden ja tarkkuuden uusiin korkeuksiin. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor on valmistettu vertaansa vailla olevalla asiantuntemuksella ja hyödyntäen huipputeknologiaa. Se on suunniteltu täyttämään puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex tarjoaa korkealaatuisia tantaalikarbidilla päällystettyjä grafiittiosia räätälöidyllä palvelulla. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex tarjoaa tantaalikarbidilla päällystettyä grafiittisuskeptoria räätälöidyllä palvelulla. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely