TaC-pinnoitettu tiivisterengas

Tiivistekomponentteihin kiinnitetty Semicorex TaC -pinnoitettu tiivisterengas tarjoaa poikkeuksellisia suorituskykyetuja puolijohteiden valmistuksen vaativissa ympäristöissä. TaC-pinnoite vastaa kriittisiin haasteisiin, jotka liittyvät kemialliseen kestävyyteen, äärimmäisiin lämpötiloihin ja mekaaniseen kulumiseen, mikä mahdollistaa suuremman prosessin tuoton, lisää laitteiden käyttöaikaa ja viime kädessä alentaa valmistuskustannuksia. Me Semicorexilla olemme omistautuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn TaC-pinnoitettua tiivisterengasta, joka yhdistää laadun ja kustannustehokkuuden.**

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex TaC -pinnoitettu tiivisterengas on erinomainen inertisyys useille puolijohdeprosesseissa käytettäviä syövyttäviä kaasuja ja kemikaaleja kohtaan, mukaan lukien plasmaetsauskemiat (esim. fluori, kloori, bromi), seostusaineet (esim. boori, fosfori, arseeni) ja aggressiiviset aineet. puhdistusaineet. Tämä inertisyys estää tiivisteen hajoamisen ja herkkien prosessikammioiden saastumisen.

Ja sulamispisteen ollessa yli 3800 °C, TaC-pinnoitettu tiivisterengas säilyttää rakenteellisen eheytensä ja mekaanisen lujuutensa kiekkojen käsittelyn aikana kohdattuissa korkeissa lämpötiloissa. Tämä varmistaa luotettavan tiivistyksen korkean lämpötilan hehkutus-, pinnoitus- ja syövytysprosessien aikana.

TaC-pinnoitetun tiivisterenkaan äärimmäinen kovuus ja alhainen kitkakerroin tarjoavat poikkeuksellisen kestävyyden kulumista, naarmuuntumista ja hankausta vastaan. Tämä on kriittistä dynaamisissa tiivistyssovelluksissa, joissa toistuva liike tai kosketus kiekkojen ja muiden komponenttien kanssa voi johtaa hiukkasten muodostumiseen ja tiivisteen epäonnistumiseen.

TaC-pinnoitetulla tiivisterenkaalla on erittäin alhainen kaasunpäästö jopa korkeissa lämpötiloissa, joten ne sopivat ihanteellisesti suurtyhjiösovelluksiin. Tämä varmistaa prosessin puhtauden ja estää ei-toivottujen epäpuhtauksien kertymisen herkille kiekkojen pinnoille.

Erityiset edut puolijohdesovelluksissa:

Pidennetty tiivisteen käyttöikä:TaC-pinnoitettu tiivisterengas pidentää merkittävästi tiivisteen käyttöikää tarjoamalla ylivoimaisen kestävyyden kemiallista iskua, lämpöhajoamista ja mekaanista kulumista vastaan. Tämä vähentää tiivisteiden vaihtotiheyttä ja minimoi seisokit ja huoltokustannukset.

Parempi prosessin tuotto ja kiekkojen laatu:TaC-pinnoitetun tiivisterenkaan inertti luonne minimoi hiukkasten muodostumisen ja kontaminoitumisen, mikä johtaa korkeampiin prosessisaantoihin ja parempaan kiekkojen laatuun. Tämä on kriittistä korkean suorituskyvyn puolijohdelaitteiden tuotannossa, joissa on tiukat vikatoleranssit.

Parannettu laitteiden käyttöaika ja tuottavuus:Pidempi tiivisteiden käyttöikä ja pienemmät huoltovaatimukset lisäävät laitteiden käytettävyyttä ja yleistä tuottavuutta. Tämä on ratkaisevan tärkeää tehon maksimoimiseksi ja suurten puolijohteiden valmistuksen vaatimusten täyttämiseksi.