TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Tiivistekomponentteihin kiinnitetty Semicorex TaC -pinnoitettu tiivisterengas tarjoaa poikkeuksellisia suorituskykyetuja puolijohteiden valmistuksen vaativissa ympäristöissä. TaC-pinnoite vastaa kriittisiin haasteisiin, jotka liittyvät kemialliseen kestävyyteen, äärimmäisiin lämpötiloihin ja mekaaniseen kulumiseen, mikä mahdollistaa suuremman prosessin tuoton, lisää laitteiden käyttöaikaa ja viime kädessä alentaa valmistuskustannuksia. Me Semicorexilla olemme omistautuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn TaC-pinnoitettua tiivisterengasta, joka yhdistää laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-tantaalikarbidilla päällystetty suskeptori on kriittinen komponentti, jolla on keskeinen rooli kerrostusprosesseissa, jotka ovat välttämättömiä puolijohdekiekkojen luomisessa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-tantaalikarbidiistukka on edistyksellinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistuslaitteissa ja joka tunnetaan poikkeuksellisista lämpö- ja mekaanisista ominaisuuksistaan. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coated Ring on tärkeä komponentti, joka täyttää nämä vaativat vaatimukset. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC -pinnoitettu suihkupää on olennainen osa kemiallista höyrypinnoitusprosessia, mikä tarjoaa vertaansa vailla olevan suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC -pinnoitettu istukka edustaa merkittävää edistystä puolijohteiden valmistuksen alalla. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kysely