TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu tarkkaan kiekkojen käsittelyyn ja korkean lämpötilan prosesseihin puolijohteiden valmistuksessa. Valitse Semicorex innovatiivisista, kestävistä tuotteistaan, jotka takaavat optimaalisen suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden vaativissa puolijohdesovelluksissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC -rengas on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu piikarbidin yksikiteiden kasvattamiseen, mikä varmistaa optimaalisen kaasuvirtauksen jakautumisen ja lämpötilan hallinnan. Valitse Semicorex, jos haluat asiantuntemuksemme edistyneistä materiaaleista ja tarkkuussuunnittelusta. Se tarjoaa kestäviä ja luotettavia ratkaisuja, jotka parantavat puolijohdeprosessiesi tehokkuutta ja laatua.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Tantalum Carbide Part on TaC-pinnoitettu grafiittikomponentti, joka on suunniteltu korkean suorituskyvyn käyttöön piikarbidin (SiC) kiteiden kasvatussovelluksissa, ja se tarjoaa erinomaisen lämpötilan ja kemikaalien kestävyyden. Valitse Semicorex, jos haluat luotettavia, korkealaatuisia komponentteja, jotka parantavat kiteiden laatua ja tuotantotehokkuutta puolijohteiden valmistuksessa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-tantaalikarbidirenkaat ovat kriittisiä komponentteja, joita käytetään kehittyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa. Poikkeuksellisesta kovuudestaan, korkeasta sulamispisteestään ja kemiallisesta inertsistään tunnetut Semicorexilla olemme sitoutuneet toimittamaan tuotteita, jotka täyttävät korkeimmat laatu- ja suorituskykystandardit ja varmistavat, että asiakkaamme pysyvät innovaatioiden eturintamassa puolijohdeteollisuudessa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coating Wafer Susceptor on tantaalikarbidilla päällystetty grafiittialusta, jota käytetään piikarbidin epitaksiaalisessa kasvussa parantamaan kiekkojen laatua ja suorituskykyä. Valitse Semicorex edistyksellisen pinnoitusteknologiansa ja kestävien ratkaisujensa vuoksi, jotka takaavat erinomaiset piikarbidiepitaksiatulokset ja pidennetyn suskeptorin käyttöiän.*
Lue lisääLähetä kyselyTaC Coating Guide Rings ovat grafiittirenkaita, joissa on tantaalikarbidipinnoite, ja ne on suunniteltu käytettäväksi piikarbidikiteiden kasvatusuuneissa kiteiden laadun parantamiseksi. Valitse Semicorex sen edistyneen pinnoitusteknologian vuoksi, joka varmistaa erinomaisen kestävyyden, lämpöstabiilisuuden ja optimoidun kiteen kasvun.*
Lue lisääLähetä kysely