TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Semicorex TaC Coated Ring on tärkeä komponentti, joka täyttää nämä vaativat vaatimukset. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC -pinnoitettu suihkupää on olennainen osa kemiallista höyrypinnoitusprosessia, mikä tarjoaa vertaansa vailla olevan suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC -pinnoitettu istukka edustaa merkittävää edistystä puolijohteiden valmistuksen alalla. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-huokoinen grafiitti TaC-pinnoitteella on erikoismateriaali, joka on suunniteltu vastaamaan piikarbidi (SiC) -kiteiden kasvun kriittisiin haasteisiin. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti on piikarbidin (SiC) kiteenkasvatusteknologian uusin innovaatio. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coated Susceptor (tantalum Carbide Coated Susceptor) on pitkälle erikoistunut komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistuksessa ja muissa korkeissa lämpötiloissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely