TaC Coating Jalustan tuki

Semicorex TaC Coating Jalustan kannatin on avainrooli mekaanisessa tuessa, mutta myös prosessivirran ohjauksessa. Se sijaitsee pääsuskeptorin tai kiekon alustan alla, kun sitä käytetään reaktorissa. Se lukitsee pyörivän kokoonpanon paikoilleen, pitää lämpötasapainon jalustassa ja hallitsee tervettä kaasuvirtausta kiekkovyöhykkeen alla. TaC Coating Jalustan tuki on tehty molempiin toimintoihin, mukaan lukien rakentavasti valmistettu grafiittipohja, joka on päällystetty tasaisen tiheällä tantaalikarbidikerroksella (TaC) kemiallisella höyrypinnoituksella (CVD).

TaC-pinnoitteetTaC-pinnoitteetLopputuloksena on sileä, tiheä pinnoite, joka suojaa grafiittisubstraattia korkean lämpötilan hapettumiselta, ammoniakin korroosiolta ja metalli-orgaaniselta esiastereaktiolta. Pitkäaikaisessa altistumisessa syövyttäville kaasuille tai äärimmäiseen lämpökiertoon, joka liittyy epitaksiaalisiin prosesseihin, jalustan tuki kestää säilyttäen rakenteellisen ja kemiallisen vakauden.

Useita kriittisiä toimintoja suorittava CVD TaC -pinnoite toimii suojaavana esteenä, joka estää mahdollisen grafiittipinnoitteen ja substraatin hiilikontaminaation pääsyn reaktoriympäristöön tai osumasta kiekkoon. Toiseksi se tarjoaa kemiallisen inerttiyden pitäen puhtaan ja vakaan pinnan sekä hapettavassa että pelkistävässä ilmakehässä. Tämä estää ei-toivotut reaktiot prosessikaasujen ja reaktorilaitteiston välillä varmistaen, että kaasufaasikemia pysyy hallinnassa ja että kalvon tasaisuus säilyy.

Samoin tulee huomioida jalustan kannatin merkitys kaasuvirtauksen ohjauksessa. Keskeinen näkökohta epitaksiaalisessa saostusprosessissa on varmistaa prosessikaasujen tasaisuus, joka virtaa kiekon koko pinnalla tasaisen kerroksen kasvun saavuttamiseksi. TaC Coating Jalustan kannatin on tarkasti koneistettu ohjaamaan kaasun virtauskanavia ja geometrioita, mikä auttaa ohjaamaan prosessikaasut sujuvasti ja tasaisesti reaktioalueelle. Laminaarivirtausta säätelemällä turbulenssi minimoidaan, kuolleet alueet eliminoidaan ja kaasuympäristö syntyy vakaammin. Kaikki tämä edistää ylivoimaista kalvon paksuuden tasaisuutta ja parempaa epitaksiaalista laatua.

TheTaC pinnoitetarjoaa korkean lämmönjohtavuuden ja emissiokyvyn, mikä mahdollistaa myös jalustan tuen johtavan ja säteilevän lämpöä tehokkaasti. Tämä johtaa myös parempaan yleiseen lämpötilan tasaisuuteen suskeptorilla ja kiekolla alhaisemmilla lämpötilagradienteilla, mikä tuottaa vähemmän vaihtelua kiteen kasvussa. Lisäksi TaC tarjoaa poikkeuksellisen hapettumisenkestävyyden, mikä varmistaa, että emissiivisyys pysyy tasaisena pitkäaikaisen käytön aikana, mikä varmistaa tarkan lämpötilakalibroinnin ja toistettavan prosessin suorituskyvyn.

TaC Coating -jalustalla on korkea mekaaninen kestävyys, mikä pidentää käyttöikää. Erityisesti CVD-pinnoitusprosessi luo kiinteän molekyylisidoksen TaC-kerroksen ja grafiittisubstraatin välille estäen delaminaatiota, halkeilua tai kuoriutumista lämpörasituksen seurauksena. Siksi se on komponentti, joka hyötyy sadoista korkean lämpötilan sykleistä ilman hajoamista.