Semicorex-huokoinen tantaalikarbidikeramiikka on korkean suorituskyvyn huokoista keramiikkaa, joka on suunniteltu erityisesti fyysiseen höyrynsiirtoprosessiin (PVT). Sen erityinen huokoinen rakenne ja erinomaiset ominaisuudet ovat tärkeässä roolissa laadukkaiden piikarbidikiteiden kasvun edistämisessä. Valitsemalla Semicorexin saat ihanteellisia huokoisia keraamisia ratkaisuja tasalaatuisina ja vakaasti kehittyneeseen puolijohteiden valmistukseen.
Semicorex-huokoinen tantaalikarbidikeramiikka on erittäin korkean lämpötilan keraaminen materiaali, jonka sulamispiste on noin 3880 ℃ ja joka voi säilyttää vakaan suorituskyvyn haastavissa korkean lämpötilan ja korkean korroosion käyttöympäristöissä seuraavien erinomaisten suorituskykyominaisuuksien ansiosta.
Semicorexin huokoisen maksimi käyttölämpötilatantaalikarbidi keramiikkavoi olla jopa 3200 ℃, ja se voi toimia vakaasti korkean lämpötilan piikarbidikiteiden kasvuolosuhteissa pitkään ilman muodonmuutoksia tai pehmenemistä.
Semicorex-huokoisella tantaalikarbidikeramiikalla on parempi korroosionkestävyys ja hapettumisenkestävyys kuin perinteisellä keramiikalla. Se kestää tehokkaasti korkean lämpötilan hapen ja Si-höyryn korroosiota kiteen kasvuprosessissa.
Semicorex-huokoisessa tantaalikarbidikeramiikassa on tasaisesti jakautuneet sisähuokoset, joiden huokoisuus on 10-60 % (muokattavissa) ja läpihuokoisuus yli 98 %. Tämä erityinen rakenne mahdollistaa kaasufaasielementtien, kuten Si ja C, virtauksen ja diffundoitumisen tasaisesti kiteenkasvatusuunin sisällä, mikä helpottaa suuresti korkealaatuisten kiteiden kasvua.
Piikarbidikiteiden kasvun aikana PVT-prosessin kautta, Semicorex-huokoinen tantaalikarbidikeramiikka toimii ensisijaisesti höyryfaasielementtisuodatuksessa, uunin lämpötilagradientin säätelyssä ja kaasun materiaalivirtauksen ohjauksessa. Poikkeaa perinteisistä huokoisista TaC-pinnoitetuista grafiittimateriaaleista, Semicorex-huokoisella tantaalikarbidikeramiikalla on selkeitä etuja: Se eliminoi huokoisenTaC-pinnoitettu grafiittimateriaalien haittana on pinnoitekäsittelyn aiheuttama alhainen huokosnopeus, samalla kun vältetään huokoisten TaC-pinnoitettujen grafiittimateriaalien käytön aikana havaittu pinnoitteen kuoriutumisen kipupiste. Käyttämällä Semicorexin huokoista tantaalikarbidikeramiikkaa voit tehokkaasti estää hiiliinkluusiovirheitä piikarbidikiteiden kasvussa, mikä parantaa merkittävästi kiteen kasvun laatua ja tuotteen saantoa.