TaC-pinnoitetut grafiittikiekkosuskeptorit

Nykyaikaisten puolijohteiden valmistusprosessien jatkuvan kehittymisen myötä epitaksiaalisille kiekkoille kalvon tasaisuutta, kristallografista laatua ja prosessin stabiilisuutta koskevat vaatimukset ovat tulleet yhä tiukemmiksi. Tästä syystä korkean suorituskyvyn ja kestävä käyttöTaC-pinnoitetut grafiittikiekkosuskeptorittuotantoprosessissa on tärkeää vakaan laskeuman ja laadukkaan epitaksiaalisen kasvun varmistamiseksi.

Semicorex TaC -pinnoitettujen grafiittikiekkosuskeptorien edut

1. Erinomaiset materiaalivalinnat

(1) Matriisimateriaali

Semicorex käytti korkealaatuista korkealaatuista laatuagrafiittikiekkosuskeptorien matriisina, joka tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden, korkean lämpötilan kestävyyden sekä mekaanisen lujuuden ja kovuuden. Sen lämpölaajenemiskerroin vastaa hyvin TaC-pinnoitteen lämpölaajenemiskerrointa, mikä varmistaa tehokkaasti lujan tarttumisen ja estää pinnoitetta kuoriutumasta tai halkeilemasta.

(2) Pinnoitemateriaali

Tantaalikarbidi on erittäin suorituskykyinen materiaali, jolla on erittäin korkea sulamispiste (noin 3880 ℃), erinomainen lämmönjohtavuus, erinomainen kemiallinen stabiilisuus ja erinomainen mekaaninen lujuus. Erityiset suorituskykyparametrit ovat seuraavat:

2. Poikkeuksellinen pinnoitteen suorituskyky

Semicorex käyttää uusinta CVD-tekniikkaa kiinnittääkseen tasaisesti ja lujastiTaC pinnoitegrafiittimatriisiin, mikä vähentää tehokkaasti korkeiden lämpötilojen ja kemiallisen korroosion käyttöolosuhteiden aiheuttamaa pinnoitteen halkeilua tai kuoriutumista. Lisäksi Semicorexin tarkkuuskäsittelytekniikka saavuttaa nanometritason pinnan tasaisuuden TaC-pinnoitetuille grafiittikiekkosuskeptoreille, ja niiden pinnoitteen toleransseja valvotaan mikrometritasolla, mikä tarjoaa optimaaliset alustat kiekkojen epitaksiaalista kerrostusta varten.

3. Puolijohdetason puhdistustaso

Grafiittimatriiseja ei voida käyttää suoraan prosesseissa, kuten molekyylisuihkuepitaksia (MBE), kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja metalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD). TaC-pinnoitteiden levittäminen estää tehokkaasti kiekon kontaminoitumisen, joka johtuu grafiittimatriisin ja kemikaalien välisestä reaktiosta, mikä estää vaikutuksen lopulliseen saostuskykyyn. Puolijohdetason puhtauden varmistamiseksi reaktiokammion sisällä jokainen Semicorex TaC -pinnoitettu grafiittikiekkosuskeptori, jonka on oltava suorassa kosketuksessa puolijohdekiekkojen kanssa, puhdistetaan ultraäänellä ennen tyhjiöpakkausta.