Silikoninen jalustavene

Semicorex Silicon Jalusta Boat on erittäin puhdas kiekkojen alusta, joka on suunniteltu erittäin puhtaasti ja tarkasti tukemaan korkean lämpötilan puolijohdeprosesseja, kuten hapettumista, diffuusiota ja LPCVD:tä (Low Pressure Chemical Vapor Deposition). Tämä kiekkoteline on valmistettu 9N:stä (99,9999999%)erittäin puhdasta piitävarmistaakseen poikkeuksellisen puhtauden, lämpölaajenemisvakauden ja mekaanisen tarkkuuden kiekkojen tukemiseksi ja johdonmukaisen prosessin ohjauksen erittäin puhtaissa ympäristöissä.

Semicorex Silicon Jalusta Boatissa on tarkasti suunnitellut kiekkoaukot yhdistettynä pystysuuntaisiin tukirakenteisiin, mikä varmistaa, että kiekot pysyvät täydellisesti kohdakkain ja erillään lämmitysjakson aikana. Sen mittavakaus on erinomainen, mikä varmistaa, että jalustavene ei väänny, taivu tai siirry äärimmäisissä lämpötiloissa, mikä takaa hyvän lämpötilan ja kaasun jakautumisen jokaiselle kiekolle. Tällä mittastabiilisuudella on välitön, myönteinen vaikutus kalvon paksuuden tasaisuuteen hapettumisen ja diffuusion aikana ja se mahdollistaa pienempien virheiden määrän sekä paremman prosessin toistettavuuden.

poistamaan muihin kuin piimateriaaleihin liittyvät kontaminaatioriskit. Alustalla on sama kemiallinen koostumus kuin aktiivisesti käytetyillä kiekoilla, mikä minimoi ei-toivotut reaktiot tai ionien diffuusio korkean lämpötilan prosesseissa. Materiaalin homogeenisuus vähentää merkittävästi hiukkasten ja metallisten epäpuhtauksien fysikaalista identiteettiä, mikä takaa tasaisen korkean kiekon laadun ja laitteen suuren tuoton toistuvien tuotantosyklien kautta.

Jalustavene on saatavillayksikiteinen tai monikiteinen piipoistamaan muihin kuin piimateriaaleihin liittyvät kontaminaatioriskit. Alustalla on sama kemiallinen koostumus kuin aktiivisesti käytetyillä kiekoilla, mikä minimoi ei-toivotut reaktiot tai ionien diffuusio korkean lämpötilan prosesseissa. Materiaalin homogeenisuus vähentää merkittävästi hiukkasten ja metallisten epäpuhtauksien fysikaalista identiteettiä, mikä takaa tasaisen korkean kiekon laadun ja laitteen suuren tuoton toistuvien tuotantosyklien kautta.

Semicorex Silicon Jalusta Boatissa on tarkasti suunnitellut kiekkoaukot yhdistettynä pystysuuntaisiin tukirakenteisiin, mikä varmistaa, että kiekot pysyvät täydellisesti kohdakkain ja erillään lämmitysjakson aikana. Sen mittavakaus on erinomainen, mikä varmistaa, että jalustavene ei väänny, taivu tai siirry äärimmäisissä lämpötiloissa, mikä takaa hyvän lämpötilan ja kaasun jakautumisen jokaiselle kiekolle. Tällä mittastabiilisuudella on välitön, myönteinen vaikutus kalvon paksuuden tasaisuuteen hapettumisen ja diffuusion aikana ja se mahdollistaa pienempien virheiden määrän sekä paremman prosessin toistettavuuden.

Piijalustaisen veneen ensisijainen etu on sen optimoidut mekaaniset ja lämpöominaisuudet. Piin kovuus verrattuna SiC:iin tai kvartsiin auttaa vähentämään mikronaarmuuntumista ja hiukkasten muodostumista kiekkojen tärinästä tai liikkeestä kuumennettaessa. Tämä pätee erityisesti taustapuolen herkkiin kiekoihin, joissa kiekon pinnan eheys on kriittinen tuoton ja laitteen suorituskyvyn kannalta.

Jalustaveneellä on hyvä lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, joka tarjoaa lämmönsiirto-ominaisuudet säilyttäen muodon ja rakenteellisen kestävyyden useilla lämmitys- ja jäähdytysjaksoilla. Vankka rakenne tarjoaa myös pitkän käyttöiän minimaalisella muodonmuutoksella äärimmäisissä uuniolosuhteissa.

Semicorex tarjoaa räätälöityjä malleja useille laitekokoonpanoille, mukaan lukien kiekkojen halkaisija, rakojen lukumäärä, jalustan korkeus ja geometrian muunnelmia. Jokaisen tuotteen puhtaus tarkastetaan, mitat mitataan ja lämmönjohtavuus testataan, jotta ne täyttävät puolijohteiden valmistusprosessin korkeimmat standardit.

Silicon Jalusta Boat on yhteensopiva hapetus- ja diffuusioprosessien sekä LPCVD- ja hehkutussovelluksien kanssa, jotka vaativat vertaansa vailla olevaa lämpötilan tasaisuutta ja kontaminaatioiden hallintaa. Silicon Jalusta Boat on yhteensopiva muiden piiuunin komponenttien, kuten injektoriputken, vuorausputken ja kiekon alustan, kanssa, ylläpitäen materiaalia ja lämpösovitusta koko käsittelyjärjestelmässä.