Silikoninen injektori

Semicorex Silicon Injector on erittäin puhdas komponentti, joka on suunniteltu kaasun täsmälliseen toimittamiseen matalapaineisissa kemiallisissa höyrypinnoitusjärjestelmissä (LPCVD) polypiin ja ohutkalvopinnoitukseen. Valmistettu 9N:stä (99,9999999 %)korkean puhtauden piitäTämä hieno putkimainen injektori tarjoaa erinomaisen puhtauden, yhteensopivuuden kemikaalien kanssa ja lämpöstabiilisuuden äärimmäisissä prosessiolosuhteissa.

Puolijohteiden valmistuksen kehittyessä yhä korkeammalle integraatiotasolle ja tiukemmalle kontaminaatiovalvontalle, jokaisen loppusijoituskammion kaasunsyöttökomponentin on myös täytettävä aiempaa korkeammat standardit. Semicorex Silicon Injector on kehitetty erityisesti tämän tyyppisiä vaatimuksia varten – kaasumaisten materiaalien toimittaminen vakaalla ja tasaisella tavalla koko reaktiokammioon aiheuttamatta kontaminaatiota, joka vaikuttaisi negatiivisesti kalvon laatuun tai kiekkojen saantoon.

Injektori on valmistettu yksikiteisestä tai monikiteisestä piistä riippuen prosessin vaatimuksista, ja materiaali on suunniteltu sisältämään vähän metallisia, hiukkasia ja ionisia epäpuhtauksia. Tämä tarjoaa yhteensopivuuden erittäin puhtaiden LPCVD-olosuhteiden kanssa, joissa jopa vähäinen kontaminaatio voi aiheuttaa vian kalvossa tai vian laitteen. Piin käyttö perusmateriaalina vähentää myös materiaalin epäsopivuutta ruiskun ja kammion piikomponenttien välillä, mikä vähentää merkittävästi hiukkasten muodostumisriskiä tai kemiallisia reaktioita käytön ja korkean lämpötilan käytön aikana.

Silicon Injectorin putkimainen rakenne mahdollistaa kaasun hallitun ja tasaisen jakautumisen tasaisella kiekkokuormalla. Mikrosuunnitellut aukot ja sileä sisäpinta takaavat toistettavat virtausnopeudet sekä laminaarisen kaasudynamiikan, jotka ovat kriittisiä tasaisen kalvon paksuuden ja vakaan kerrostumisnopeuksien kannalta uunissa. Olipa kyseessä silaani (SiH₂), dikloorisilaani (SiH₂Cl₂) tai muut reaktiiviset kaasut, injektori tarjoaa luotettavan suorituskyvyn ja tarkkuuden, jota tarvitaan laadukkaan polypiikalvon kasvattamiseen.

Erinomaisen lämpöstabiilisuuden ansiosta Semicorex Silicon Injector kestää jopa 1250 °C lämpötiloja, ja sitä voidaan ohjata ilman pelkoa muodonmuutoksesta, halkeilusta tai vääntymisestä useiden korkean lämpötilan LPCVD-jaksojen aikana. Lisäksi sen korkea hapettumisenkestävyys ja kemiallinen inertiteetti takaavat pitkän käyttöiän hapettavassa, pelkistävässä tai syövyttävässä ympäristössä samalla, kun se vähentää huoltotarvetta ja luo prosessin vakautta.

Jokainen injektori valmistetaan uusinta CNC-työstöä ja kiillotusta käyttäen, jolloin saavutetaan alle mikronin mittatoleranssit ja pinnan erittäin sileät viimeistelyt. Korkealaatuinen pintakäsittely minimoi kaasuturbulenssin luoden hyvin vähän tai ei ollenkaan hiukkasia ja varmistaa samalla tasaiset virtausominaisuudet epäjohdonmukaisissa lämpö- ja painemuutoksissa. Tarkkuusvalmistus varmistaa tiukasti kontrolloidut prosessit, toistettavat luotettavat tulokset ja siten tasaisen laitteiden suorituskyvyn.

Semicorex valmistaa mittatilaustyönä räätälöityjä silikonisuuttimia, joita on saatavana mittatilaustyönä, halkaisijana ja suutinkokoonpanoina. Räätälöityjä ratkaisuja voidaan kehittää parantamaan kaasun leviämiskuvioita yksittäisille reaktorien geometrioille tai saostusresepteille. Jokainen injektori tarkastetaan ja tarkastetaan puhtauden suhteen korkeimman puolijohdetason saavuttamiseksipiikomponentit.

Semicorex Silicon Injector tarjoaa tämän päivän puolijohteiden valmistuksessa vaaditun tarkkuuden ja puhtauden. Sisältää 9N erittäin puhdasta piitä, mikronitason koneistustarkkuus ja korkea lämpö- ja kemiallinen stabiilisuus takaavat tasaisen kaasun jakautumisen, pienemmän hiukkasten muodostumisen ja poikkeuksellisen luotettavuuden LPCVD-polypiitä levitettäessä.