Single Crystal Silicon suihkupää

Semicorex yksikidepiisuihkupääosoittaa poikkeuksellista korroosionkestävyyttä, alhaista laajenemiskerrointa ja erinomaista lämmönjohtavuutta. Se sopeutuu tukevasti puolijohteiden valmistuksen vaativiin korkeisiin lämpötiloihin, korkeaan syövyttävyyteen ja suuriin tyhjiin, ja se sietää poikkeuksellisen hyvin prosessikaasuja, kuten syövytys- ja kerrostuskaasuja. Siksi yksikiteistä piisuihkupäätä käytetään laajalti puolijohteiden puhdistusprosesseissa, hapetusprosesseissa, saostusprosesseissa ja etsausprosesseissa.

Semicorex käyttää edistyneitä pintakäsittelytekniikoita varmistaakseen, että yksikiteisen silikonisuihkupään pinnalla on sekä erittäin tasainen että sileä. Samaan aikaan luotaen kanavarakenteen ja kaasupolun standardoituun suunnitteluun, yksikiteisen piisuihkupään pinta on jakautunut tasaisesti useilla saman halkaisijan omaavilla huokosilla (minimihalkaisija voi olla 0,2 millimetriä). Yksikiteisen piisuihkupään huokoshalkaisijan toleranssia säädetään tarkasti mikrometritasolla, ja huokosen sisäseinämän on oltava sileä ja purseeton, mikä varmistaa prosessikaasun jakautumistarkkuuden ja tasaisuuden rakenteellisista ja prosessinäkökohdista.

Semicorex tarjoaa asiantuntevia räätälöintipalveluita asiakkaiden erilaisiin tarpeisiin. Se voi räätälöidä ulkoasuratkaisuja asiakkaidensa eri tarpeiden mukaan vastaamaan heidän reaktiokammioidensa mittoja ja muotoja. Optimoitu rakenne mahdollistaa kiekkojen täydellisen ja johdonmukaisen kosketuksen prosessikaasun kanssa koko reaktioprosessin ajan takaamalla, että kaasu jakautuu tasaisesti koko reaktiokammioon. Tämä parantaa viime kädessä tuotannon tehokkuutta ja tuotteiden laatua.