Piikiekkovene

Semicorex voi mukauttaa piikiekkoveneen rakennetta, mukaan lukien uratangon muodon, uran hampaan pituuden, muodon, kallistuskulman ja kiekkojen kokonaislatauskapasiteetin, ja se voidaan valmistaa asiakkaan vaatimusten mukaan. Korkean lämpötilan silikoniveneet voivat vähentää tehokkaasti piikiekkojen kosketusvaurioita ja parantaa prosessin saantoa. Sen korkean lämpötilan "liukumattomat tornit" -rakenne tukee kiekkoja vain tukihampaan kärjessä. VerrattunapiikarbidiPiin kovuus on suhteellisen alhainen, mikä vähentää kiekkojen mekaanisia vaurioita, mikä parantaa hilan läpäisynopeutta ja alentaa tehokkaasti tuotantokustannuksia. Sulattu silikonivene koostuu useista osista: hampaista, pohjalevystä ja ylälevystä, jotka on sulatettu yhteen. Tämä vähentää tuotantokustannuksia. Osittaisen vaurion sattuessa vaurioituneet osat voidaan vaihtaa vaihtamatta koko piivenettä, mikä vähentää merkittävästi omistuskustannuksia käytön aikana. Lisäksi piiveneellä on suuri yläraja polypiin kerrostumiselle, mikä voi tehokkaasti vähentää PM-laitteiden taajuutta ja parantaa tuotantokapasiteettia.

saavuttaa erittäin korkean puhtaustason, yli 9N (99,9999999 %), mikä varmistaa, että metalliset tai vieraat epäpuhtaudet eivät saastuta kiekkojen käsittelyä. Tämä on ratkaisevan tärkeää huippuluokan puolijohdelaitteiden valmistuksessa, jossa kontaminaatio vaikuttaa voimakkaasti suorituskyvyn luotettavuuteen ja tuottokykyyn. Silicon Wafer Boat tarjoaa erittäin puhtaan ympäristön, jossa on korkea puhtausaste ja joka sopii alan edistyneimpiin vaatimuksiin erittäin korkeille lämpötiloille alttiina olevien kiekkojen käsittelyssä hapetus- ja pelkistyskäsittelyssä.silikoni materiaaliasaavuttaa erittäin korkean puhtaustason, yli 9N (99,9999999 %), mikä varmistaa, että metalliset tai vieraat epäpuhtaudet eivät saastuta kiekkojen käsittelyä. Tämä on ratkaisevan tärkeää huippuluokan puolijohdelaitteiden valmistuksessa, jossa kontaminaatio vaikuttaa voimakkaasti suorituskyvyn luotettavuuteen ja tuottokykyyn. Silicon Wafer Boat tarjoaa erittäin puhtaan ympäristön, jossa on korkea puhtausaste ja joka sopii alan edistyneimpiin vaatimuksiin erittäin korkeille lämpötiloille alttiina olevien kiekkojen käsittelyssä hapetus- ja pelkistyskäsittelyssä.

Toinen hyötysilikoni materiaaliaon sen alhaisemmat kovuusominaisuudet verrattuna SiC-materiaaliin. Piikarbiditangot tai -veneet tunnetaan kovuudestaan ​​ja lujuudestaan, mutta jo ominaisuus voi aiheuttaa vaikeuksia kiekkojen käsittelyssä. Korkeissa lämpötiloissa kiekot liikkuvat mikroaaltoisesti; ne pomppivat hieman, siirtyvät hieman ja reuna vääntyvät ollessaan veneen sisällä. Kovempi piikarbidimateriaali voi aiheuttaa suuremman riskin tuottaa hiukkasia tai naarmuja kiekon takapuolelle, koska kiekon ja veneen ominaisuudet ovat vuorovaikutuksessa näissä korkean lämpötilan käsittelyolosuhteissa.

Silicon Wafer Boat lieventää tätä huolta hyödyntämällä piin suhteellisen pehmeää luonnetta suhteessa piikarbidiin. Kovuuden väheneminen mahdollistaa sekä pienemmän kitkan että mekaanisen rasituksen, kun kiekot koskettavat venettä lämpösyklien aikana. Tämän seurauksena hiukkasia syntyy harvemmin ja takapuolen naarmujen riski pienenee lähes nollaan. Lisäksi minimoimalla pintavikoja Silicon Wafer Boat parantaa suoraan hilan laatua ja nostaa käsiteltyjen kiekkojen yleistä kelpoisuusastetta. Puolijohdekankaille, jotka haluavat parantaa tuottoa maksimaalisella laadunvalvonnalla, tämä suorituskyky tekee piiveneestä houkuttelevan vaihtoehdon.

Pii tarjoaa hyvän vakauden ja mekaanisen lujuuden korkeissa lämpötiloissa, jolloin vene voi toimia luotettavasti toistuvien uunijaksojen aikana. Materiaali kestää vääntymistä lämmitys- ja jäähdytysjaksojen aikana ja säilyttää siten tarkan kiekkojen sijoittelun ja sijoittelun toleranssin jopa nopeiden uunijaksojen aikana. Tämä lämpökestävyys tarjoaa luotettavia prosessituloksia, jotka ovat riittävän tasaisia ​​suuria tuotantomääriä varten minimaalisella vaihtelulla ajojen välillä. Silicon Wafer Boat on rakennettu erittäin tarkasti, jotta varmistetaan tasainen kiekkojen sijoittelu ja sijoittelu. Vene on valmistettu edistyneellä työstyksellä ja kiillotuksella sileiden pintojen, tiiviin geometrian ja tiukkojen toleranssien luomiseksi.