SiC-pinnoite on ohut kerros suskeptoriin kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) kautta. Piikarbidimateriaali tarjoaa useita etuja piihin verrattuna, mukaan lukien 10-kertainen sähkökentän voimakkuus, 3-kertainen kaistaväli, joka tarjoaa materiaalille korkean lämpötilan ja kemiallisen kestävyyden, erinomaisen kulutuskestävyyden sekä lämmönjohtavuuden.
Semicorex tarjoaa räätälöityä palvelua, auttaa sinua innovoimaan komponentteja, jotka kestävät pidempään, lyhentävät kiertoaikoja ja parantavat tuottoa.
SiC-pinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja
Korkean lämpötilan kestävyys: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori kestää korkeita lämpötiloja jopa 1600 °C:een ilman merkittävää lämpöhajoamista.
Kemiallinen kestävyys: Piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen kestävyyden monenlaisille kemikaaleille, mukaan lukien hapot, emäkset ja orgaaniset liuottimet.
Kulutuskestävyys: SiC-pinnoite tarjoaa materiaalille erinomaisen kulutuskestävyyden, mikä tekee siitä sopivan sovelluksiin, joihin liittyy suurta kulumista.
Lämmönjohtavuus: CVD SiC -pinnoite tarjoaa materiaalille korkean lämmönjohtavuuden, mikä tekee siitä sopivan käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa, jotka vaativat tehokasta lämmönsiirtoa.
Suuri lujuus ja jäykkyys: Piikarbidilla päällystetty suskeptori tarjoaa materiaalille korkean lujuuden ja jäykkyyden, joten se sopii sovelluksiin, jotka vaativat suurta mekaanista lujuutta.
SiC-pinnoitetta käytetään erilaisissa sovelluksissa
LED-valmistus: CVD SiC -pinnoitettua suskeptoria käytetään erilaisten LED-tyyppien valmistuksessa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV-LED, korkean lämmönjohtavuuden ja kemiallisen kestävyyden vuoksi.
Matkaviestintä: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on tärkeä osa HEMT:tä GaN-on-SiC-epitaksiaalisen prosessin loppuunsaattamiseksi.
Puolijohteiden käsittely: CVD SiC -päällystettyä suskeptoria käytetään puolijohdeteollisuudessa erilaisiin sovelluksiin, mukaan lukien kiekkojen käsittely ja epitaksiaalinen kasvu.
SiC-pinnoitetut grafiittikomponentit
Valmistettu Silicon Carbide Coating (SiC) -grafiitista, pinnoite levitetään CVD-menetelmällä tiettyihin korkeatiheyksisten grafiittien laatuihin, joten se voi toimia korkean lämpötilan uunissa yli 3000 °C:ssa inertissä ilmakehässä, 2200 °C:ssa tyhjiössä. .
Materiaalin erikoisominaisuudet ja pieni massa mahdollistavat nopeat lämmitysnopeudet, tasaisen lämpötilan jakautumisen ja erinomaisen hallinnan tarkkuuden.
Semicorex SiC Coatingin materiaalitiedot
Tyypillisiä ominaisuuksia |
Yksiköt |
Arvot |
Rakenne |
|
FCC p-vaihe |
Suuntautuminen |
Murto-osa (%) |
111 mieluummin |
Bulkkitiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Lämpölaajeneminen 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Johtopäätös CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on komposiittimateriaali, jossa yhdistyvät suskeptorin ja piikarbidin ominaisuudet. Tällä materiaalilla on ainutlaatuisia ominaisuuksia, kuten korkea lämpötilan ja kemikaalien kestävyys, erinomainen kulutuskestävyys, korkea lämmönjohtavuus sekä korkea lujuus ja jäykkyys. Nämä ominaisuudet tekevät siitä houkuttelevan materiaalin erilaisiin korkean lämpötilan sovelluksiin, mukaan lukien puolijohdekäsittely, kemiallinen käsittely, lämpökäsittely, aurinkokennojen valmistus ja LED-valmistus.
Etsitkö luotettavaa kiekkotelinettä etsausprosesseihin? Älä etsi kauempaa kuin Semicorexin piikarbidin ICP-etsausteline. Tuotteemme on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta, mikä takaa kestävyyden ja pitkäikäisyyden. Puhtaalla ja sileällä pinnalla telineemme sopii täydellisesti koskemattomien kiekkojen käsittelyyn.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin piikarbidilevy ICP-etsausprosessiin on täydellinen ratkaisu korkeisiin lämpötiloihin ja ankariin kemiallisiin prosessointivaatimuksiin ohutkalvopinnoituksessa ja kiekkojen käsittelyssä. Tuotteemme tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja tasaisen lämmön tasaisuuden, mikä varmistaa tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden. Puhtaalla ja sileällä pinnalla erittäin puhdas SiC-kidepinnoitteemme tarjoaa optimaalisen käsittelyn koskemattomille kiekkoille.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Coated ICP Etching Carrier on suunniteltu erityisesti epitaksilaitteille, joilla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys Kiinassa. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin etsaustelineen pidike PSS-etsaukseen on suunniteltu vaativimpiin epitaksilaitteiden sovelluksiin. Äärimmäisen puhdas grafiittitelineemme kestää kovia ympäristöjä, korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. SiC-päällysteisellä kantoaineella on erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, korkea lämmönjohtavuus ja se on kustannustehokas. Tuotteitamme käytetään laajasti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin PSS Handling Carrier for Wafer Transfer on suunniteltu vaativimpiin epitaksilaitteiden sovelluksiin. Äärimmäisen puhdas grafiittitelineemme kestää kovia ympäristöjä, korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. SiC-päällysteisellä kantoaineella on erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, korkea lämmönjohtavuus ja se on kustannustehokas. Tuotteitamme käytetään laajasti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin Silicon Etch Plate PSS-etsaussovelluksiin on korkealaatuinen, erittäin puhdas grafiittipidike, joka on suunniteltu erityisesti epitaksiaaliseen kasvuun ja kiekkojen käsittelyprosesseihin. Telineemme kestää kovia ympäristöjä, korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. PSS-etsaussovelluksiin tarkoitetulla piietsauslevyllä on erinomaiset lämmönjakoominaisuudet, korkea lämmönjohtavuus ja se on kustannustehokas. Tuotteitamme käytetään laajasti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely