SiC-pinnoitetut levytelineet MOCVD:lle

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD on korkealaatuinen alusta, joka on suunniteltu käytettäväksi puolijohteiden valmistusprosessissa. Sen korkea puhtaus, erinomainen korroosionkestävyys ja tasainen lämpöprofiili tekevät siitä erinomaisen valinnan niille, jotka etsivät alustaa, joka kestää puolijohteiden valmistusprosessin vaatimukset.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

SiC-pinnoitetut MOCVD-levykannattimet ovat erittäin puhtaita, joten se on erinomainen valinta niille, jotka etsivät erittäin yhtenäistä ja ominaisuuksiltaan yhdenmukaista alustaa.
SiC-pinnoitetut MOCVD-levykannattimet on valmistettu erittäin puhtaalla piikarbidipinnoitteella grafiitilla, mikä tekee siitä erittäin kestävän hapettumista korkeissa lämpötiloissa jopa 1600 °C:een. Sen valmistuksessa käytetty CVD-kemiallinen höyrypinnoitusprosessi varmistaa korkean puhtauden ja erinomaisen korroosionkestävyyden. Se on erittäin korroosionkestävä, sillä on tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia, mikä tekee siitä kestävän happoja, emäksiä, suoloja ja orgaanisia reagensseja. Sen hapettumisenkestävyys korkeissa lämpötiloissa takaa vakauden korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti.

MOCVD:n piikarbidilla päällystettyjen levytelineiden parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen