Piikarbidigrafiittisubstraatti MOCVD-suskeptori

Semicorex-piikarbidigrafiittisubstraatti MOCVD Susceptor on paras valinta puolijohdevalmistajille, jotka etsivät korkealaatuista alustaa, joka tarjoaa erinomaisen suorituskyvyn ja kestävyyden. Sen edistyksellinen materiaali varmistaa tasaisen lämpöprofiilin ja laminaarisen kaasuvirtauskuvion, mikä tuottaa korkealaatuisia kiekkoja.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Piikarbidigrafiittisubstraatti MOCVD-suskeptorimme on erittäin puhdasta, valmistettu CVD-kemiallisella höyrysaostuksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa, mikä varmistaa tuotteen tasaisuuden ja johdonmukaisuuden. Se on myös erittäin korroosionkestävä, sillä on tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia, mikä tekee siitä kestävän happoja, emäksiä, suoloja ja orgaanisia reagensseja. Sen hapettumisenkestävyys korkeissa lämpötiloissa takaa vakauden korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja piikarbidigrafiittisubstraatti-MOCVD-susseptoristamme.

Piikarbidigrafiittisubstraatin MOCVD-suskeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen