Yksikiteinen pii-epitaksiaalinen suskeptori

Täydellinen grafiitin epitaksi- ja kiekkojen käsittelyprosessiin, Semicorexin ultrapuhdas monokiteinen pii-epitaksiaalinen suskeptori varmistaa minimaalisen kontaminoitumisen ja tarjoaa poikkeuksellisen pitkän käyttöiän. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor on grafiittituote, joka on päällystetty korkealla puhdistetulla piikarbidilla, jolla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys. CVD-piikarbidilla päällystetty kantoaine, jota käytetään prosesseissa, jotka muodostavat puolijohdekiekkojen epitaksiaalisen kerroksen, jolla on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
Monokiteinen pii-epitaksiaalinen suskeptorimme on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja yksikiteisestä pii-epitaksiaalisesta suskeptoristamme.

Yksikiteisen piin epitaksiaalisen suskeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

Yksikiteisen pii-epitaksiaalisen suskeptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.