Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidirakennetta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex SiC Wafer Boats ovat edistyksellisiä komponentteja, jotka on suunniteltu huolellisesti puolijohteiden valmistukseen, erityisesti diffuusio- ja lämpöprosesseissa. Vankka sitoutumisemme tarjoamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, olemme valmiita tulemaan pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Wafer Boat on kriittinen komponentti puolijohteiden valmistusprosessissa, ja se on erityisesti suunniteltu käytettäväksi diffuusioprosessissa, jossa sillä on tärkeä rooli erittäin integroitujen piirien luomisessa. Vankka sitoutumisemme tarjoamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, olemme valmiita tulemaan pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Ceramic Elektrostaattinen istukka (ESC) on erikoistyökalu, joka on huolellisesti suunniteltu täyttämään puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset. Vankka sitoutumisemme tarjoamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, olemme valmiita tulemaan pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Electrostatic Chuck (ESC) on puolijohteiden valmistuksessa käytetty edistyksellinen komponentti, joka on suunniteltu pitämään puolijohdekiekkoja turvallisesti eri käsittelyvaiheiden aikana. Sitoudumme toimittamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, joten olemme valmiita olemaan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piikarbidikiekkoistukka on olennainen komponentti puolijohteiden epitaksiaalisessa prosessissa. Se toimii tyhjiöistukkana pitämään kiekot turvallisesti kriittisten valmistusvaiheiden aikana. Olemme sitoutuneet toimittamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja asettamaan itsemme pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Ceramic Chuck on pitkälle erikoistunut komponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi puolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, joissa sen rooli tyhjiöistukkana on ratkaiseva. Sitoudumme toimittamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, joten olemme valmiita olemaan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kysely