Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex-mikrohuokoinen SiC-chuck on erittäin tarkka tyhjiöpoika, joka on suunniteltu turvallisen kiekkojen käsittelyyn puolijohdeprosesseissa. Valitse Semicorex muokattavissa olevista ratkaisuistamme, ylivoimaisesta materiaalin valinnasta ja sitoutumisesta tarkkuuteen, varmistamalla optimaalinen suorituskyky kiekkojen käsittelytarpeissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Porous Ceramic Chuck (tyhjiöistukka) on erittäin tarkka työkalu, joka on suunniteltu pitämään kiinni kiekot turvallisesti puolijohteiden valmistusprosessien aikana. Valitsemalla Semicorexin hyödyt ratkaisusta, joka tarjoaa poikkeuksellisen suorituskyvyn, kestävyyden ja räätälöinnin, mikä varmistaa paremman tuotannon tehokkuuden ja yhdenmukaiset laatustandardit.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Alumina -tyhjiöistukat ovat tarkkuussuunniteltuja komponentteja, jotka on suunniteltu pitämään tukevasti kiekot tai alustat kriittisten puolijohde- ja tarkkuusvalmistusprosessien aikana. Semicorexin sitoutumisen ansiosta korkealaatuisiin materiaaleihin ja huippuluokan valmistustekniikoihin alumiinioksidityhjiöistukkamme tarjoavat vertaansa vailla olevan luotettavuuden, tarkkuuden ja suorituskyvyn vaativimpiin sovelluksiisi.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Vacuum Chuck on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu turvalliseen ja tarkkaan kiekkojen käsittelyyn puolijohteiden valmistuksessa. Valitse Semicorex edistyneistä, kestävistä ja likaantumista kestävistä ratkaisuistamme, jotka takaavat optimaalisen suorituskyvyn vaativimmissakin prosesseissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Silicon Carbide Sleeveä käytetään yleisesti kulutusta ja korroosiota kestävänä vuorauksena laitteissa, kuten sylintereissä, pumpuissa, venttiileissä, liukulaakereissa ja hiomarumpuissa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Alumina Insulation Ring -eristerengasta käytetään eristimenä erilaisissa sähkökomponenteissa, sen erinomaiset sähköeristysominaisuudet takaavat luotettavan suorituskyvyn sovelluksissa, joissa sähkönjohtavuuden estäminen on välttämätöntä.
Lue lisääLähetä kysely