Huokoiset SiC-tyhjiöistukat

Semicorex huokoinen SiCtyhjiöistukatovat välttämättömiä komponentteja, joita voidaan käyttää laajasti kehittyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa, kuten kiekkojen ohennuksessa, kuutioinnissa, hionnassa, kiillotuksessa, fotolitografiassa, etsauksessa. Niiden adsorptioalusta on rakennettu huokoisesta piikarbidikeraamisesta levystä, jossa on lukuisia tasaisesti jakautuneita mikronikokoisia huokosia. Tasaisen huokoshalkaisijan ja poikkeuksellisen rei'itysnopeuden ansiosta Semicorexin huokoiset SiC-tyhjiöistukat tarjoavat tasaisen kaasupolun tyhjiöpoistoon. Käytön aikana istukan ja kiekon väliin muodostuu vakaa ja tasainen alipaine, mikä mahdollistaa tehokkaan alipainekiinnityksen ja puolijohdekiekkojen vapauttamisen.

Semicorex-huokoisten SiC-tyhjiöistukkaiden edut 

1. Poikkeuksellinen käsittelytarkkuus

Kehittyneessä puolijohdevalmistuksessa käsitellyt puolijohdekiekot ovat erittäin ohuita, joten jopa pieni taivutus, tärinä tai epätasainen paikallinen jännitys voi johtaa kiekon rikkoutumiseen, vääntymiseen ja tarkkuuden heikkenemiseen kriittisissä prosesseissa, kuten litografiassa. Semicorexhuokoinen SiCtyhjiöistukat käsitellään erittäin tarkasti hiomalla ja kiillottamalla, jolloin saavutetaan täydellinen pinnan karheus Ra ＜ 0,1 μm. Tämän ansiosta Semicorex-huokoiset SiC-tyhjiöistukat voivat tarjota optimoidun käyttöpinnan erittäin tarkkaan puolijohteiden valmistukseen.

2. Korkea puhtaus ja korkea korroosionkestävyys

Täyttääkseen täysin tiukat puolijohteiden puhtausstandardit Semicorex valmistaa huokoisia piikarbidi-tyhjiöistukkaita erittäin puhtaista piikarbidiraaka-aineista korkean lämpötilan sintrauksella. Tämä varmistaa, että istukat ovat vapaat hiukkasten irtoamisesta ja siirtyvistä metallisaastuksista. SiC:n erinomaisesta kemiallisesta stabiilisuudesta hyötyvät Semicorex-huokoiset SiC-tyhjiöistukat kestävät ankarat korroosioympäristöt eivätkä tuota ylimääräisiä sivutuotteita, joten ne soveltuvat erittäin hyvin korkealaatuisiin puhtaiden puolijohteiden valmistusprosesseihin.

3. Erinomainen kestävyys ja pitkäaikainen vakaus

Tuotantolinjoilla käytettävien tyhjiöistukkaiden on kestettävä tuhansia adsorptio- ja vapautussyklejä sekä pitkäaikaisia ​​lämpötilanvaihteluita. Tämä asettaa erittäin korkeat vaatimukset alipaineistukan materiaalin suorituskyvylle. Semicorex-huokoisilla SiC-tyhjiöistukkailla on erinomainen materiaalin kovuus ja kulutuskestävyys sekä vakaa lämpölaajeneminen. Niissä ei ole virumista tai suorituskyvyn heikkenemistä korkeissa lämpötiloissa, mikä pidentää merkittävästi niiden käyttöikää ja vähentää komponenttien huolto- ja vaihtotiheyttä.