Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex Vertical Silicon Boat on kriittinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa. Semicorex toimittaa räätälöityjä pystysuuntaisia piiveneitä, joilla on vertaansa vailla oleva laatu ja tarkkuus, räätälöity vastaamaan puolijohdeteollisuuden tiukkoja vaatimuksia.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin Si3N4-tiivisterengas edustaa merkittävää edistystä keramiikkatekniikassa, ja se on valmistettu Si3N4:stä, poikkeuksellisesta epäorgaanisesta materiaalista. Tämä keramiikka on tunnettu ainutlaatuisesta ominaisuudestaan, joka ei kutistu sintrausprosessin aikana, mikä varmistaa mittavakauden ja yhtenäisyyden.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Alumina Fastener on olennainen osa kemiallisessa höyrypinnoituksessa (CVD), ioni-istutuksissa, fotolitografiassa ja puolijohteiden valmistuksessa käytettävien laitteiden rakentamista.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Pump Shaft erottuu vertaansa vailla olevasta suorituskyvystään ja luotettavuudestaan kiinteänä komponenttina magneettipumppuihin, suojapumppuihin, monivaiheisiin pumppuihin, hydraulipumppuihin, kemikaalipumppuihin ja sentrifugeihin.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin tarjoama AlN Ceramic Crucible on suunniteltu kestämään äärimmäisiä olosuhteita, ja se on välttämätön työkalu ammattilaisille, jotka työskentelevät ei-rautametallien ja puolijohdemateriaalien, kuten galliumarsenidin, kanssa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin Alumina Boat löytää markkinaraon puolijohdeteollisuudessa, yleisissä koneissa ja korkean lämpötilan prosesseissa, mikä on osoittautunut välttämättömäksi luotettavuutta ja tarkkuutta etsiville ammattilaisille.
Lue lisääLähetä kysely