SiSiC kiekkovene

Puolijohde- ja aurinkokennojen valmistuksen kilpailuympäristössä suorituskyvyn ja komponenttien pitkäikäisyyden tasapainottaminen on välttämätöntä. MeidänSiSiC Wafer Boat on suunniteltu "teolliseksi työhevoseksi" korkean lämpötilan uunitoimintoihin. Hyödyntämällä reaktiosidontaprosessia toimitamme kantoaineen, joka tarjoaa erinomaisen mekaanisen lujuuden ja lämpöiskun kestävyyden perinteiseen kvartsi- ja standardikeramiikkaan verrattuna.

SiSiC:n tiede: Miksi reaktiolla on merkitystä

Toisin kuin sintrattu piikarbidi, joka muodostuu korkeapaineisen jauheen tiivistämisellä,SiSiC kiekkovene valmistetaan suodattamalla huokoiseen hiiliaihioon sulalla piillä. Tämä "Reaction Bonding" -prosessi johtaa materiaaliin, jonka kutistuminen on lähes nolla valmistuksen aikana, mikä mahdollistaa monimutkaisten, laajamittaisten venearkkitehtuurien tuotannon uskomattomalla mittatarkkuudella.

1. Erinomainen lämpöiskun kestävyys

Eräkäsittelyn yksi kriittisimmistä haasteista on uunin nopea "push-pull"-sykli. Kvartsin kantajat halkeilevat usein lämpöjännityksen vaikutuksesta. SiSiC:llä on huomattavasti korkeampi murtumiskerroin (MOR) ja erinomainen lämmönjohtavuus. Tämän ansiosta veneemme kestävät nopean lämpötilan nousun ilman rakenteellisen vian riskiä, ​​mikä vähentää suoraan laitteiden seisokkiaikoja.

2. Suuri kantokyky lämpötilassa

Kun kiekkojen koko kasvaa ja erät kasvavat suorituskyvyn maksimoimiseksi, alustan paino kasvaa. SiSiC-veneillämme on poikkeuksellinen virumisenkestävyys. Vaikka muut materiaalit voivat painua tai vääntyä raskaan kuormituksen alaisena 1 250 °C:ssa, SiSiC säilyttää geometriansa varmistaen, että kiekkojen raon yhdensuuntaisuus pysyy täydellisenä tuhansien jaksojen ajan.

3. Kemiallinen inertisyys ja pinnan eheys

SiSiC-veneemme on suunniteltu vaativiin kemiallisiin ympäristöihin. Materiaali kestää luonnostaan ​​syövyttäviä kaasuja, joita käytetään LPCVD- ja diffuusioprosesseissa. Lisäksi pinta on käsitelty, jotta varmistetaan "vapaan piin" kulkeutuminen, mikä tarjoaa vakaan, puhtaan ympäristön, joka suojaa kiekkoidesi sähköistä eheyttä.

Tekniset tiedot: SiSiC Performance Matrix

Optimoitu maailmanlaajuisille valmistusstandardeille

SiSiC-kiekkoveneemme ovat yhteensopivia maailman johtavien uunien OEM-valmistajien kanssa, mukaan lukien TEL (Tokyo Electron), ASM ja Kokusai Electric. Tarjoamme räätälöityjä ratkaisuja:

Vaakasuuntaiset diffuusiouunit: Pitkät veneet, joissa on erittäin tarkka ura 150 mm ja 200 mm kiekkoille.

Pystysuuntaiset uunijärjestelmät: Pienimassaiset mallit, jotka optimoivat kaasun virtauksen ja lämmön tasaisuuden.

Aurinkosähkökennojen tuotanto: Erikoistuneet SiSiC-kannattimet, jotka on suunniteltu suuren volyymin POCl3-diffuusioon ja tarjoavat 5-10 kertaa kvartsia pidempään käyttöiän.

Asiantunteva näkemys: Prosesseihin, jotka ylittävät 1 380 °C, suosittelemme sintrattua piikarbidia. Kuitenkin suurimmassa osassa diffuusio-, hapetus- ja LPCVD-vaiheita SiSiC tarjoaa alan kustannustehokkaimman suorituskyvyn ja käyttöiän suhteen.

Miksi tehdä yhteistyötä kanssamme?

Materiaaliasiantuntemus: Hankimme vain erittäin puhdasta alfa-SiC-jauhetta ja elektronista piitä reaktioliitosprosessiimme.

Tarkkuustekniikka: CNC-hiontakykymme mahdollistavat uratoleranssit ±0,02 mm:n sisällä, mikä vähentää kiekkojen tärinää ja rikkoutumista.

Kestävyys ja sijoitetun pääoman tuottoprosentti: Kun vaihdetaan kvartsista SiSiC:iin, kankaiden vuotuiset kulutuskulut vähenevät tyypillisesti 40 % merkittävästi vähentyneen vaihtotiheyden vuoksi.

Jokaisen lähettämämme veneen mukana on vaatimustenmukaisuustodistus (CoC) ja täysimittainen tarkastusraportti, mikä varmistaa, että prosessisarjasi on valmis asennettavaksi välittömästi puhdastilaan.