Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex SiC Ceramic Plate tarjoaa vertaansa vailla olevan suorituskyvyn ympäristöissä, joissa vaaditaan kulutuskestävyyttä, korroosionkestävyyttä ja vakautta korkeissa lämpötiloissa. Tämä tuote on suunniteltu käytettäväksi vuorauslevyinä ja tukiosina useissa vaativissa sovelluksissa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex AlN Ceramic Disc erottuu poikkeuksellisen suorituskykyisenä materiaalina, joka on arvostettu ainutlaatuisesta lämpö-, mekaanisten ja sähköisten ominaisuuksien yhdistelmästään. Semicorexilla olemme AlN-keraamisten levyjen valmistuksen eturintamassa varmistaen, että nämä komponentit täyttävät nykyaikaisen teknologian ja teollisten sovellusten tiukat vaatimukset.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin Si3N4 Sleeve on monipuolinen ja suorituskykyinen materiaali, joka tarjoaa ainutlaatuisen yhdistelmän matalaa tiheyttä, ylivoimaista kovuutta, erinomaista kulutuskestävyyttä sekä poikkeuksellista lämpö- ja kemiallista stabiilisuutta.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Porous Ceramic -tyhjiöistukan ensisijainen tehtävä on sen kyky tarjota tasainen ilman ja veden läpäisevyys, ominaisuus, joka varmistaa tasaisen jännityksen jakautumisen ja piikiekkojen vankan kiinnittymisen. Tämä ominaisuus on ratkaiseva jauhatusprosessin aikana, koska se estää kiekkoa liukumasta ja säilyttää siten toiminnan eheyden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Alumina Tube on keskeinen komponentti useissa teollisissa sovelluksissa, ja se on tunnettu kyvystään kestää ankaria ympäristöjä ja korkeita lämpötiloja.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin PBN Ceramic Disc syntetisoidaan monimutkaisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) avulla käyttämällä booritrikloridia (BCl3) ja ammoniakkia (NH3) korkeissa lämpötiloissa ja alhaisissa paineissa. Tämä synteesimenetelmä johtaa materiaaliin, joka on poikkeuksellisen puhdas ja rakenteellisesti eheä, mikä tekee siitä välttämättömän monissa puolijohdeteollisuuden sovelluksissa.**
Lue lisääLähetä kysely