SiC Graphite RTP -kantolevy MOCVD:lle

Semicorex SiC Graphite RTP -kantolevy MOCVD:lle tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja lämmön tasaisuuden, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin. Korkealaatuisella piikarbidilla päällystetyllä grafiitilla tämä tuote on suunniteltu kestämään ankarimmatkin saostumisympäristöt epitaksiaalista kasvua varten. Korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet takaavat luotettavan suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

SiC Graphite RTP -kantolevymme MOCVD:lle MOCVD-epitaksiaaliseen kasvuun on täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelyyn ja epitaksiaaliseen kasvuun. Sileä pinta ja korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan takaavat tämän tuotteen luotettavan suorituskyvyn ankarissa kerrostumisympäristöissä.
MOCVD:lle tarkoitetun SiC-grafiitti-RTP-kantolevymme materiaali on suunniteltu estämään halkeamia ja delaminaatiota, kun taas erinomainen lämmönkestävyys ja lämpötasaisuus takaavat tasaisen suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC Graphite RTP -kantolevystämme MOCVD:lle.

SiC Graphite RTP -kantolevyn parametrit MOCVD:lle

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC Graphite RTP -kantolevyn ominaisuudet MOCVD:lle

Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.