> Tuotteet > Piikarbidipinnoitettu > RTP-operaattori > SiC-pinnoitettu RTP-kantolevy epitaksiaaliseen kasvuun

Tuotteet

Uudet tuotteet

SiC-pinnoitettu RTP-kantolevy epitaksiaaliseen kasvuun

Semicorex SiC -pinnoitettu RTP-kantolevy epitaksiaaliseen kasvuun on täydellinen ratkaisu puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin. Korkealaatuisten hiiligrafiittisuskeptorien ja MOCVD:llä käsiteltyjen kvartsiupokkaiden grafiitin, keramiikan jne. pinnalla tämä tuote on ihanteellinen kiekkojen käsittelyyn ja epitaksiaaliseen kasvuun. SiC-päällystetty kantoaine varmistaa korkean lämmönjohtavuuden ja erinomaiset lämmönjakoominaisuudet, joten se on luotettava valinta RTA-, RTP- tai kovaan kemialliseen puhdistukseen.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

SiC-pinnoitettu RTP-kantolevymme epitaksiaalista kasvua varten on suunniteltu kestämään laskeumaympäristön vaikeimmat olosuhteet. Korkean lämmön- ja korroosionkestävyytensä ansiosta epitaksisuskeptorit altistuvat täydelliselle saostumisympäristölle epitaksiaalista kasvua varten. Telineessä oleva hieno SiC-kidepinnoite varmistaa sileän pinnan ja korkean kestävyyden kemiallista puhdistusta vastaan, kun taas materiaali on suunniteltu estämään halkeamia ja delaminaatiota.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-päällystetystä RTP-kantolevystämme epitaksiaalista kasvua varten.

SiC-pinnoitetun RTP-kantolevyn parametrit epitaksiaalista kasvua varten

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC-päällystetyn RTP-kantolevyn ominaisuudet epitaksiaalista kasvua varten

Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.

Hot Tags: SiC-pinnoitettu RTP-kantolevy epitaksiaaliseen kasvuun, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä

Tuotemerkki

Aiheeseen liittyvä luokka