RTP-kantaja MOCVD-epitaksiaaliseen kasvuun

Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth on ihanteellinen puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin, mukaan lukien epitaksiaalinen kasvu ja kiekkojen käsittely. Hiiligrafiittisuskeptorit ja kvartsiupokkaat käsitellään MOCVD:llä grafiitin, keramiikan jne. pinnalla. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex toimittaa kiekkojen tukemiseen käytettävää RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth -alustaa, joka on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa. Prosessin ytimessä epitaksisuskeptorit altistetaan ensin kerrostumisympäristölle, joten sillä on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys. SiC-päällysteisellä kantoaineella on myös korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growthista.

RTP-kantajan parametrit MOCVD-epitaksiaalista kasvua varten

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

RTP Carrierin ominaisuudet MOCVD-epitaksiaaliseen kasvuun

Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.