RTP RTA SiC Coated Carrier

Semicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Semicorex-grafiittisuskeptori, joka on suunniteltu erityisesti epitaksilaitteille, joilla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys Kiinassa. RTP RTA SiC Coated Carrierillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex toimittaa kiekkojen tukemiseen käytettyä RTP RTA SiC Coated Carrier -alustaa, joka on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa. RTP RTA SiC Coated Carrier erittäin puhtaalla piikarbidilla (SiC) päällystetyllä grafiittirakenteella tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden saavuttamiseksi sekä kestävän kemiallisen kestävyyden. Hieno SiC-kidepinnoite tarjoaa puhtaan, sileän pinnan, joka on kriittinen käsittelylle, koska koskemattomat kiekot koskettavat suskeptoria monissa pisteissä koko alueellaan.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan korkealaatuisia, kustannustehokkaita RTP RTA SiC Coated Carrier -kantoalustoja, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

RTP RTA SiC Coated Carrierin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

RTP RTA SiC Coated Carrierin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.