Semicorex RTP SiC Coating Carrier tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja lämmön tasaisuuden, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin. Laadukkaalla piikarbidilla päällystetyllä grafiitilla tämä tuote on suunniteltu kestämään ankarimmat epitaksiaalisen kasvun saostumisolosuhteet. Korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet takaavat luotettavan suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.
RTP SiC Coating Carrier -pinnoitteemme on suunniteltu kestämään saostusympäristön kovimmatkin olosuhteet. Korkean lämmön- ja korroosionkestävyytensä ansiosta epitaksisuskeptorit altistuvat täydelliselle saostumisympäristölle epitaksiaalista kasvua varten. Kantajan hieno SiC-kidepinnoite varmistaa sileän pinnan ja hyvän kestävyyden kemiallista puhdistusta vastaan, kun taas materiaali on suunniteltu estämään halkeamia ja delaminaatiota.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan korkealaatuisia, kustannustehokkaita RTP SiC -pinnoitteen kantajia, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja RTP SiC Coating Carrier -pinnoitteesta.
RTP SiC Coating Carrier -pinnoitteen parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
RTP SiC Coating Carrier -pinnoitteen ominaisuudet
Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.