Poly-Si urarenkaat

Poly-Si-uritetut renkaat asennetaan yleensä kehittyneiden puolijohdeetsauslaitteiden reaktiokammioon. Ne toimivat synergistisesti piiosien kanssa, mukaan lukien piitarkennusrenkaat, silikoniset ulkorenkaat ja piisuihkupäät. Nämä osat voivat luoda vakaan ja optimaalisen reaktioympäristön etsausprosessille, mikä varmistaa erinomaisen toiminnanetsaustarkkuus ja prosessin johdonmukaisuus.

Semicorex poly-Si urarenkaiden toiminnot

1. Semicorex poly-Si -urarenkaat on varustettu useilla tasaisesti jakautuneilla rakoilla, jotka toimivat kaasukanavina, mikä mahdollistaa prosessikaasujen tasaisen poistumisen reaktion jälkeen.

2. Semicorex-poly-Si-urarenkaat pystyvät saavuttamaan erinomaisen plasmasäädön ja tarjoavat luotettavan suojan puolijohdeetsauslaitteiden reaktiokammiolle.

3. Semicorex-poly-Si-urarenkaat voivat auttaa säätämään sähkökenttää ja kammion painetta, mikä estää epävakautta vaikuttamasta syövytysprosessin johdonmukaisuuteen.

Laadukas materiaalivalikoima

Semicorex poly-Si urarenkaat on valmistettu korkealaatuisesta monikiteisestä piistä, jonka puhtausaste on yli 99,9999%, mikä antaa niille seuraavat ylivoimaiset ominaisuudet.

1. Erittäin puhdas ja erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus.

2. Poikkeuksellinen plasmakorroosionkestävyys.

3. Suotuisat sähköiset ominaisuudet, resistanssitasaisuus: RRG ≤ 5%, alhainen res. (<0,02), keskiresoluutio (1–4) ja korkearesoluutio (70–90).

Valmistuskyky ja laadunvalvonta

Edistyneillä koneistuslaitteilla ja kokeneella teknisellä tiimillä varustettu Semicorex valvoo tiukasti jokaista tuotantoprosessia ja tarjoaa laadukkaita ja hyvin yhteensopivia poly-Si-uritettuja renkaita arvostetuille asiakkaillemme. Lisäksi Semicorex valvoo tiukasti mittojen mittausta, ominaisvastustestausta ja visuaalista tarkastusta valmiissa poly-Si-urarenkaissa varmistaakseen, että niissä ei ole vikoja, kuten siruja, naarmuja, halkeamia ja tahroja.