Homoepitaksia ja heteroepitaksia ovat keskeisiä rooleja materiaalitieteessä. Homoepitaksia sisältää kiteisen kerroksen kasvattamisen samaa materiaalia olevalle alustalle, mikä varmistaa minimaaliset viat täydellisen hilan yhteensopivuuden vuoksi. Sitä vastoin heteroepitaksia kasvattaa kiteistä kerro......
Lue lisääJotta voidaan saavuttaa korkealaatuiset vaatimukset IC-sirupiiriprosesseissa, joiden linjaleveydet ovat alle 0,13 μm - 28 nm halkaisijaltaan 300 mm:n piikiillotuskiekoilla, on välttämätöntä minimoida epäpuhtauksien, kuten metalli-ionien, aiheuttama kontaminaatio kiekon pinnalla.
Lue lisää