CVD SiC -pinnoitetut suskeptorit toimivat erikoiskiekkojen pidikkeinä metalliorgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoitusprosesseissa (MOCVD), joilla on ratkaiseva rooli puolijohteiden valmistuksessa. Nämä komponentit ovat elintärkeitä kiekkojen rakenteellisen eheyden säilyttämiseksi epitaksian aikana ......
Lue lisää