Sähköstaattiset istukat (ESC) ovat tulleet välttämättömiksi puolijohteiden valmistuksessa ja litteiden näyttöjen tuotannossa, ja ne tarjoavat vaurioitumattoman, erittäin hallittavan menetelmän herkkien kiekkojen ja alustojen pitämiseen ja sijoittamiseen kriittisten käsittelyvaiheiden aikana. Tässä a......
Lue lisääPaksut, erittäin puhdas piikarbidi (SiC) kerrokset, tyypillisesti yli 1 mm, ovat kriittisiä komponentteja useissa arvokkaissa sovelluksissa, mukaan lukien puolijohdevalmistus ja ilmailuteknologia. Tässä artikkelissa käsitellään kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD) tällaisten kerrosten tuottamis......
Lue lisääChemical Vapor Deposition (CVD) on monipuolinen ohutkalvopinnoitustekniikka, jota käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa korkealaatuisten, yhdenmukaisten ohutkalvojen valmistukseen erilaisille alustoille. Tämä prosessi sisältää kaasumaisten esiasteiden kemiallisia reaktioita kuumennetun alustan......
Lue lisääTässä artikkelissa tarkastellaan piikarbidiveneiden (SiC) käyttöä ja tulevaisuuden kehityskulkua suhteessa kvartsiveneisiin puolijohdeteollisuudessa keskittyen erityisesti niiden sovelluksiin aurinkokennojen valmistuksessa.
Lue lisääGalliumnitridi (GaN) epitaksiaalinen kiekkojen kasvatus on monimutkainen prosessi, jossa käytetään usein kaksivaiheista menetelmää. Tämä menetelmä sisältää useita kriittisiä vaiheita, mukaan lukien korkean lämpötilan paisto, puskurikerroksen kasvu, uudelleenkiteytyminen ja hehkutus. Kaksivaiheinen k......
Lue lisää