SOI, lyhenne sanoista Silicon-On-Insulator, on puolijohteiden valmistusprosessi, joka perustuu erityisiin substraattimateriaaleihin. 1980-luvulla tapahtuneesta teollistumisestaan lähtien tästä tekniikasta on tullut tärkeä osa kehittyneitä puolijohteiden valmistusprosesseja. Ainutlaatuisesta kolmik......
Lue lisääSähköstaattinen istukka suorittaa useita toimintoja, kuten tasaisen sähköstaattisen purkauksen, lämmönjohtavuuden ja kiekkojen adsorption ja kiinnityksen puolijohteiden valmistuksen alalla. Yksi ESC:n ydintehtävistä on adsorboida kiekkoja vakaasti äärimmäisissä käyttöolosuhteissa, kuten suuressa tyh......
Lue lisääErittäin puhtaita kiekkoja valmistettaessa kiekkojen on saavutettava yli 99,999999999 %:n puhtausstandardi puolijohteiden perusominaisuuksien varmistamiseksi. Paradoksaalista kyllä, integroitujen piirien toimivan rakenteen saavuttamiseksi tiettyjä epäpuhtauksia on lisättävä paikallisesti kiekkojen p......
Lue lisääKeraamiset tyhjiöistukat on valmistettu huokoisista keraamisista materiaaleista, joilla on tasainen huokoskokojakauma ja sisäinen liitäntä. Hionnan jälkeen pinta on sileä ja herkkä ja tasainen. Niitä käytetään laajalti puolijohdekiekkojen, kuten piin, safiirin ja galliumarsenidin, valmistuksessa.
Lue lisääKiekkojen valinnalla on merkittävä vaikutus puolijohdelaitteiden kehitykseen ja valmistukseen. Kiekkojen valintaa tulee ohjata tiettyjen sovellusskenaarioiden vaatimusten mukaisesti, ja se tulee arvioida huolellisesti seuraavien keskeisten mittareiden avulla.
Lue lisääKuivaetsauslaitteisto ei käytä etsaukseen märkäkemikaaleja. Se syöttää ensisijaisesti kaasumaisen etsausaineen kammioon ylemmän elektrodin kautta, jossa on pieniä läpimeneviä reikiä. Ylemmän ja alemman elektrodin synnyttämä sähkökenttä ionisoi kaasumaisen etsausaineen, joka sitten reagoi kiekolle sy......
Lue lisää