1x2" grafiittikiekkosuskeptorit

Puolijohdekiekkojen valmistuksessa epitaksiaalinen kerros on kasvatettava kiekkosubstraatin päälle myöhempää puolijohdelaitteiden valmistusta varten. Koska epitaksiaalinen kasvuprosessi on erittäin herkkä lämpötilan vaihteluille ja kontaminaatioille, valinnat luotettaviakiekkosuskeptoritovat ratkaisevan tärkeitä. Kiekkojen epitaksiaalisessa prosessissa välttämättöminä tukiosina koneistuksen tarkkuus, lämmönhallintakyky ja kontaminaatiokestävyys ovat tärkeitä tekijöitä korkealaatuisen kiekkojen epitaksiaalisen kasvun saavuttamisessa.

Semicorex 1x2" grafiittikiekkosuskeptorien toiminnot

Semicorexin 1x2" grafiittikiekkosuskeptorit, jotka on valmistettu erittäin hienojakoisista rakeista, matriisina erittäin puhtaasta grafiitista ja tiheästä piikarbidipinnoitteesta erikoisprosessien avulla, tarjoavat seuraavat toiminnot:

1. Turvallinen ja vanhentunut pito

Semicorex 1x2"grafiittikiekkosuskeptoreissa on tarkka työstö ja käsittely, mikä takaa poikkeuksellisen tasaisen pinnan ja mittatarkkuuden. Tämä varmistaa, että ne on kiinnitetty tukevasti sopivaan asentoon ja tarjoaa vakaan, tasaisen tukialustan kiekkojen epitaksiaalista kasvua varten.

2. Precision Uniform lämmönjako

Grafiitti- ja piikarbidimateriaalien erinomaisella lämmönjohtavuudella, Semicorex 1x2" grafiittikiekkosuskeptorit tarjoavat nopean ja tasaisen lämmön jakautumisen puolijohdeaineen poikki. Minimoimalla lämpötilagradientit Semicorex 1x2" grafiittikiekkosuskeptorit voivat tehokkaasti välttää ongelmia, kuten epätasaisen epitaksiaalisen laadun ja jännityspitoisuuden.

Semicorex-piikarbidipinnoitteen edut

1. Erinomainen korroosionkestävyys

Tiheällä piikarbidipinnoitteella päällystetyt Semicorex 1x2" grafiittikiekkojen suskeptorit kestävät tehokkaasti useimpia kemikaaleja, mikä tekee niistä sopivia sovelluksiin erittäin syövyttävissä käyttöolosuhteissa, joissa materiaali altistuu usein syövyttäville kaasuille ja kemikaalihöyryille.

2. Vähäinen hiukkasten irtoaminen

Semicorexpiikarbidipinnoitesillä on korkea sidoslujuus grafiittimatriisin kanssa, mikä voi merkittävästi välttää alustan kontaminaatioriskin, joka johtuu korroosion aiheuttamasta pinnoitteen irtoamisesta ja korkean korroosioympäristön aiheuttamasta hiukkaslaskeumasta.

3. Luotettava käyttöikä

Vaikka grafiittimatriiseilla on erinomainen lämpöstabiilius ja mekaaninen lujuus, ne ovat alttiita korroosiolle ja jauhautumiseen epitaksiaalisen prosessin käyttöolosuhteissa, mikä lyhentää huomattavasti päällystämättömien grafiittimatriisien käyttöikää. Kapseloimalla grafiittimatriisit täysin tiheillä piikarbidipinnoitteilla, 1 × 2 tuuman grafiittikiekkosuskeptorimme saavuttavat erinomaisen ja luotettavan kestävyyden.

Semicorex SiC Coatingin materiaalitiedot