SiC-pinnoitetut grafiittikiekot suskeptorit

Semicorex SiC -pinnoitettu grafiittikiekkosuskeptoritovat levyn muotoisia komponentteja, joita käytetään laajalti pyörivissä MOCVD-järjestelmissä kiekkojen tukemiseen ja lämmittämiseen. Ne voivat helpottaa tasaista kaasun jakautumista ja tasaista lämmön jakautumista reaktiokammioissa, mikä tarjoaa optimaalisen prosessiympäristön korkealaatuiselle ja tehokkaalle epitaksiaaliselle kasvulle. Semicorex SiC -pinnoitetut grafiittikiekkosuskeptorit soveltuvat sovelluksiin, joissa vaaditaan erinomaista ohutkalvon tasaisuutta, kuten GaN-epitaksia safiirialustoille.

Semicorex SiC -pinnoitettujen grafiittikiekkosuskeptorien ominaisuudet

Semicorex SiC -pinnoitettujen grafiittikiekkojen suskeptorit käyttävät pohjamateriaalina erittäin puhdasta grafiittia ja muodostavat pohjalleen tasaisen ja tiheän piikarbidipinnoitteen kemiallisen höyrypinnoituksen avulla. Ylivertaisia ​​raaka-aineita ja edistynyttä tuotantotekniikkaa hyödyntävät Semicorex SiC -pinnoitetut grafiittikiekkosuskeptorit omaavat seuraavat erinomaiset ominaisuudet.

1. Poikkeuksellinen lämmönkestävyys

MOCVD-laitteet toimivat tyypillisesti yli 1000 ℃ lämpötiloissa, mikä asettaa tiukat vaatimukset sisäisten komponenttien suorituskyvylle korkeissa lämpötiloissa. Semicorex SiC -pinnoitetut grafiittikiekkojen suskeptorit sopivat hyvin näihin ankariin työolosuhteisiin ja toimivat tasaisesti myös pitkäaikaisessa korkeassa lämpötilassa. Semicorex SiC -pinnoitetut grafiittikiekkojen suskeptorit, joissa ei ole pinnoitteen telineitä tai irtoamista, voivat eliminoida kaasun ja epäpuhtauksien vapautumisen riskin grafiittipohjasta.

2. Vahva korroosionkestävyys

Semicorex SiC -pinnoitettujen grafiittikiekkojen suskeptoreilla on erinomainen hapettumisenkestävyys ja korroosionkestävyys monimutkaisissa korkeissa lämpötiloissa ja voimakkaissa korroosioolosuhteissa. NiidenCVD SiC pinnoitevoivat merkittävästi estää niiden pohjan syöpymästä prosessikaasujen, kuten NH3 ja H2, vaikutuksesta, minimoi hiilikontaminaation vapautumisen ja parantaa siten epitaksiaalisten kalvojen puhtautta.

3. Erinomainen lämmönjohtavuus

Semicorex SiC -pinnoitettujen grafiittikiekkojen suskeptorit tarjoavat luotettavan lämmönhallintakyvyn epitaksiaalisten kasvuprosessien aikana, koska niiden grafiittipohjaisilla ja CVD SiC -pinnoitteilla on erinomainen lämmönjohtavuus. Ne voivat varmistaa tasaisen lämmön jakautumisen substraattikiekkojen kesken ohutkalvopinnoitusprosessien aikana, mikä johtaa korkealaatuisiin epitaksiaalisiin kerroksiin.