6 "kiekkojen haltijat

Semicorex 6 "kiekkojen haltijat on erityisesti suunniteltu vastaamaan sic (piikarbidi) epitaksiaalisten kasvuprosessien vaativia vaatimuksia. Suunniteltu käytettäväksi korkean lämpötilan, kemiallisesti reaktiivisten ympäristöjen aikana, nämä haltijat tarjoavat erinomaisen mekaanisen stabiilisuuden, lämmön yhdenmukaisuuden ja prosessien luotettavuuden, mikä tekee niistä välttämättömiä komponentteja edistyneille SIC-epitaksisovelluksille.

Kiekkojen valmistusprosessin aikana joidenkin kiekkojen substraattien on rakennettava epitaksiaalikerroksia edelleen laitteiden valmistuksen helpottamiseksi. Tyypillisiä esimerkkejä ovat LED-valoa säteilevät laitteet, jotka vaativat GaAs-epitaksiaalikerrosten valmistelun piisubstraateihin; SIC -epitaksiaalikerroksia kasvatetaan johtavilla sic -substraateilla laitteiden, kuten SBD: n ja MOSFET: ien rakentamiseksi korkean jännitteen, korkean virran ja muiden tehosovellusten suhteen; GAN-epitaksiaalikerrokset on rakennettu puolilistaville sic-substraateille HEMT: n ja muiden viestinnän ja muiden radiotaajuussovellusten lisäämiseksi edelleen. Tämä prosessi on erottamaton CVD -laitteista.

CVD -laitteissa substraattia ei voida sijoittaa suoraan metalliin tai yksinkertaisesti epitaksiaalisen laskeutumisen pohjalle, koska siihen liittyy erilaisia tekijöitä, kuten kaasun virtaussuunta (vaaka-, pystysuuntainen), lämpötila, paine, kiinnitys ja putoavat epäpuhtaudet. Siksi tarvitaan emäs, ja sitten substraatti asetetaan alustalle, ja sitten epitaksiaalinen laskeutuminen suoritetaan substraatille CVD -tekniikan avulla. Tämä tukikohta on aSic-päällysteinenGrafiittipohja (6 "kiekkojen haltijat).

6 "kiekkojen pidikkeet on optimoitu erinomaiseen lämmönhallintaan, mikä varmistaa tasaisen lämmönjakauman kiekkojen pinnan yli. Tämä johtaa parannettuun kerroksen tasaisuuteen, vähentyneeseen viatiheyteen ja parannetulle kokonaistuotolle sic -epitaksiaalisen kasvun aikana. Suunnittelu sopii tarkkaan kiekkojen kiinnittämiseen ja kohdistamiseen, minimoimalla hiukkasten muodostumisen ja mekaanisen stressin, joka muuten vaikuttaa lopulliseen laitteeseen.

Suoritatko sic-pohjaisten voimalaitteiden tutkimusta ja kehittämistä tai täysimittaista tuotantoa, 6 "kiekkojen haltijamme tarjoavat vankan suorituskyvyn ja luotettavuuden, jota tarvitaan prosessin tehokkuuden maksimoimiseksi. Tarjoamme myös räätälöintipalveluita mukauttamaan haltijan suunnittelua ainutlaatuisiin järjestelmän parametreihin, mikä auttaa sinua saavuttamaan korkeimmat standardit epitaksiaalisessa kiekkotuotannossa.