Sic -käsivarsi

Semicorex SiC ARM on erikoistunut laite, joka on kehitetty käsittelemään kiekkoja, joilla on maksimaalinen luotettavuus ja tarkkuus. Kiekkojen siirtovarret, kuten sic-varsi, ilmestyvät edistyneissä puolijohdevalmistuslaitteissa, kuten epitaksiaalireaktorit, ionin implantointijärjestelmät, lämpökäsittely jne. Konekonsiirtovarret ovat olennaisia ​​kiekkojen tarkkaan liikkumiseen monimutkaisten kiekkojen käsittelyympäristöissä varmistaakseen, että kiekkojen käsiteltävien kiekkojen turvallisen ja tarkan siirron. Rakennettu erittäin puhtaastipiikarbidiyhdistettynä raaka -aineiden ominaisuuksiin 

Poikkeuksellinen lämpö- ja kemiallinen stabiilisuus ja erinomainen koneistusohjaus tekevät sic -käsivarresta luotettavan ratkaisun tulevaisuuden puolijohteiden valmistukseen.

SIC -käsivarren suorituskyky on poikkeuksellinen äärimmäisissä lämpöympäristöissä. Epitaksiaalisessa kasvussa sekä muissa korkean lämpötilan prosesseissa kiekkojen käsittelykomponentit voidaan altistua kestävälle lämmölle, joka heikentää helposti tavanomaisen materiaalin ominaisuuksia. Piekarbidi säilyttää sekä lujuuden että mittatarkkuuden (äärelliset ulottuvuuden toleranssit) korkeissa lämpötiloissa, mikä varmistaa, että kiekot voivat pysyä tarkasti siirron tai käsittelyn aikana, ja käytännössä eliminoida kiekkojen väärinkäyttö, loimi tai saastuminen. Keraaminen sic -tuotteen poikkeuksellisen suorituskyvyn kanssa; Kuten SIC -käsivarsi ei hapettu, vääristyy kuin metalli, eikä ole epäonnistumisen suorituskykyominaisuuksia, kuten keraaminen, jotka ovat stressihalkeamia.

Kemiallinen vastus on toinen SIC -käsivarren määrittelevä ominaisuus. Puolijohdeympäristöissä syövyttävät kaasut, reaktiiviset kemikaalit ja plasmaaltistukset ovat yleisiä. Käsittelyvarsi, joka huononee tällaisissa olosuhteissa, ei vain vaarassa mekaanista vikaantumista myös kiekkojen saastumista.Piikarbiditarjoaa kemiallisesti inertin pinnan, joka kestää nämä aggressiiviset olosuhteet. Tuloksena on erittäin luotettava komponentti, joka ylläpitää pinnan eheyttä ja puhtautta, turvata kiekkoja epäpuhtauksista, jotka voivat vaarantaa laitteen suorituskyvyn. Tämä kestävyys vähentää merkittävästi laitteiden seisokkeja, alentaa korvaustaajuutta ja parantaa prosessien johdonmukaisuutta.

Materiaalin joustavuutensa lisäksi SIC -käsivarsi kohtaa myös korkean koneistustarkkuuden. Kiekkojen käsittely vaatii mikrometrille tarkkuutta; Toleranssit, jotka ovat jopa hiukan eritelmiä, voivat aiheuttaa muutoksia geometriassa tai pintapinnoitteessa, jotka voivat aiheuttaa suurempia riskejä kiekkojen rikkoutumisessa tai kiekkojen väärinkäytössä. Käyttämällä nykyaikaista valmistustekniikkaa, SIC -aseet tuotetaan asianmukaisilla toleransseilla, tasoilla ja sileillä pinnoilla. Erittäin tarkan sovelluksen oleminen on ihanteellista varmistaa kiekkojen johdonmukainen sijainti ja toistettava suorituskyky tuhansien käsittelyjaksojen aikana, mikä on ihanteellinen suuren määrän puolijohdetuotantoon, jolla on vaatimuksia.

Monipuolisuus on toinen SiC -aseiden etu. Erilaiset puolijohdetyökalut ja prosessit vaativat erilaisten geometrioiden, kokojen ja mallejen aseet. Koska sic -varret voidaan muokata sisällyttämään nämä erityiset suunnitteluominaisuudet, ne mahtuvat helposti moniin järjestelmiin, olipa kyse sitten epitaksityökalusta, ionin implantaatiolaitteiden tai lämpökäsittelyreaktorin pala. Pinnan viimeistelyt, rakennemallit ja viimeistelyt voidaan myös muokata ja suunnitella tarjoamaan paras suorituskyky tietyn sovelluksen suhteen.

SIC -aseiden tehokkuus on myös. SiC: n korkea kestävyys ja luotettavuus Keskimääräiset korvaukset ovat harvinaisia ​​ja seisokkeja minimoidaan; Molemmat merkitsevät alhaisempia pitkäaikaisia ​​ylläpitokustannuksia. Semiconductor FABS: n tuotanto -tuotannon avulla tämä tarkoittaa paremman suorituskyvyn, tuotannon suuremman stabiilisuuden ja suuremman laitteen saannon toteuttamista.

SIC -aseet ovat nähneet laajalle levinnyttä käyttöä sen jälkeen, kun niiden käyttöönotto on puolijohdeyhteisössä erityisesti kiekkojen siirtojärjestelmissä, joissa niiden on kestävä sekä mekaaniset rasitukset että erittäin tiukat käsittelyolosuhteet. Olipa kyseessä kiekkoja epitaksireaktoreille, pitämällä niitä paikallaan ionin implantaation aikana tai siirtämällä niitä kaasu- tai lämpökäsittelyympäristöjen kautta, SIC-varsi tarjoaa turvallisen, tarkan ja saastumattoman kiekkojen käsittelyn. Luotettavuus näkyy ottamalla käyttöön sic -aseet nykyaikaiseen puolijohdevarustevalikoimaan.

Semicorex sic -varsi on onnistunut yhdistelmä edistyneiden toivottuja ominaisuuksiapiiharbidimateriaali, tarkkuustekniikka ja korkean lämpötilan vakaus. Kemiallisen stabiilisuuden yhdistelmä, kyky koneistaa ja tarkkuuden valmistus tekee SIC-käsivarren soveltuvan luotettavan kiekkojen käsittelyyn kovimpiin puolijohdeprosesseihin. SIC-käsivarsi on muokattavissa ja kestävä loppukäyttäjän kulutustavien etujen suhteen kiekkojen käsittelyyn avustamiseen ja tarjoavat etuja pitkäaikaisessa käyttöuorassa tehokkuuden, sadon ja prosessien vakauden suhteen. Valmistajat, jotka etsivät moderneja ja huipputeknisiä kiekkojen käsittelyjärjestelmiä tai jopa laatikon kiekkojen käsittelyratkaisuja, katsovat ja luottavat sic-käsivarteen todistettuna, korkean suorituskyvyn ja kykenevänä kiekkojen siirto- ja käsittelyjärjestelmänä puolijohdeteollisuuden edistyneisiin vaatimuksiin.