Sic tyhjiö istukka

PuoliväliPiikarbidiSiC-tyhjiöpoikut ovat korkean teknologian keraamisia työkaluja, jotka on suunniteltu pitämään puolijohde-kiekkoja turvallisesti ja luotettavasti tarkkuusmateriaalin poistoprosessien aikana. Ne on suunniteltu käytettäväksi erittäin puhdas, korkean lämpötilan ja kemiallisesti ankarissa ympäristöissä. SiC -tyhjiöpoikut auttavat toimittamaan ylivoimaisen kiekkojen adsorption ja kohdistuksen. Semicorex sic -tyhjiöskyselyt valmistetaan korkeasta puhtaasta piikarbidikeraamisesta, jotta saadaan erinomainen mekaaninen lujuus, lämmönjohtavuus ja kemiallinen kestävyys.

Tyhjiöpetoksen päätehtävänä on vetää tasainen imu kiekkojen pinnan poikki siten, että kiekko pidetään vakaana prosessien, kuten tarkastusten, laskeutumisen, etsauksen ja litografian aikana. Tyypillisillä tyhjiöpoikulaisilla on ongelmia hiukkasten muodostumisessa, vääntymisessä tai kemiallisessa heikkenemisessä ajan myötä. Äärimmäisissä puolijohteiden valmistusolosuhteissa sic-tyhjiöpoikut tarjoavat paremman pitkäaikaisen kestävyyden ja vakauden.

Piharbidimateriaalit ovat erittäin arvostettuja niiden kovuudesta, lämpöstabiilisuudesta ja matalan lämmön laajennuskertoimesta. Nämä materiaalit pysyvät mitallisesti vakaina laajalla lämpötiloissa, mikä mahdollistaa lämmön stabiilisuuden ja parantuneen prosessin tarkkuuden ilman lämpöä kiekkoon. Niiden korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa myös nopean lämmön hajoamisen, mikä on hyödyllinen nopeassa lämpöpohjaisissa alkuperäisissä olosuhteissa tai lyhyen altistumisen korkean energian plasmoille.

SIC -keraamisella ei ole vain lämpö- ja mekaanisia etuja, vaan se on myös kestävä plasman korroosiolle ja aggressiivisille prosessikaasuille. Tämä ominaisuus tekee sic -tyhjiöpoikista erityisen suotuisat kuiville etsaus-, CVD- ja PVD -prosesseille, joissa kvartsi- tai alumiininitridimateriaalit voivat heikentyä käytön avulla. SIC: n kemiallinen inertti auttaa rajoittamaan saastumista ja parantamaan työkaluaikaa.

Paremman suorituskyvyn aikaansaamiseksi. Semicorex valmistaa sic-tyhjiöpoikkeat ja määrittele erittäin tiukka toleranssit ultravälillä pinnoilla kanavarakenteilla päivitys Micron'sissa. Näiden ominaisuuksien avulla se tarjoaa kiekkojen tuen tarkalla imu- ja jatkuvalla imualueella kiekkojen tuen vähentämiseksi loimenmahdollisuuksien tai itse kiekkojen rikkoutumisen mahdollisuuksille. Mukautetut suunnittelupalvelut ovat myös saatavana erilaisiin kiekkokokoihin (2 " - 12") erilaisissa sovelluksissa.

Koska korkeampi sato, prosessin hallinta ja luotettavuus ovat tekijöitä, sic -tyhjiöpoikut ovat seuraavan sukupolven puolijohdelaitteiden uusia olennaisia komponentteja. SiC -tyhjiöpoikakalvojen sovellukset sidotaan suoraan laitteiden luotettavuuden ja prosessoinnin hallinnan saannon lisäämiseksi.