Alumiinioksidivarsi

Semicorex -alumiinioksidi -keraaminen käsivarsi on suunniteltu komponentti, joka on kehitetty puolijohdesovellusten korkeimpiin eritelmiin. Valmistettu korkean puhtaan alumiinioksidista (al₂o₃), se on robottivarsi, jossa on ainutlaatuinen yhdistelmä mekaanista lujuutta, lämpöstabiilisuutta ja kemiallista kestävyyttä. ARM ei ole vain suunniteltu käytettäväksi pelkästään kiekkojen käsittelyyn, vaan sen on myös tarjottava prosessitukea edistyneissä valmistuspaikoissa. Sen on myös varmistettava, että kiekkoja siirretään, sijoitetaan ja käsitellään ilman saastumista tai vaurioita; Prosessin satojen ja luotettavuuden parantaminen.

Alumiinioksoon yksi teknisistä keramiikasta, joka löytää laajimman käytön teknisellä keraamisella kentällä. Alumiinioksidi tunnetaan kovuudestaan, kulumiskestävyydestään ja vakaudesta aggressiivisissa ympäristöissä. Keraamisen käsivarren tavoitteena hallita kiekkojen käsittelyä ilman saastumista, se voi hyödyntää alumiinioksidin ominaisuuksia ja tuottaa huomattavasti korkeamman kulutustason sen suuren puhtauden ja hiukkasen koon seurauksena; Siksi se ei tuota liiallisia hiukkasia toistuvien liikkeidensä aikana joko kiekkojen tai muun tyyppisten puolijohdesubstraattien kanssa.  Tiheys ja matala huokoisuus, että se isännöi myös edelleen vapauttavien hiukkasten potentiaalia, ja varmistaa, että se täyttää puolijohteiden kehittämisen FABS: n erittäin puhdasta vaatimuksia heikentämättä submikronilaitteiden käsittelyyn tarvittavaa puhtautta.

AlumiinioksoMekaanisen lujuuden lisäksi on poikkeuksellinen lämpöstabiilisuus. Alumiinioksidi -keraaminen käsivarsi voi kestää äärimmäisiä prosessien lämpötiloja ilman vääntymistä, halkeilua tai menettämistä voimaa. Tämä ominaisuus tekee siitä ihanteellisen sisällyttämisen mihin tahansa prosessivaiheeseen, joka sisältää altistumisen kohonneille lämpötiloille, kuten diffuusio, hapettuminen tai hehkuvaiheet. Kivut ovat parantuneet siirtymisen luotettavuuteen haastavassa prosessiympäristössä, koska se säilyttää mekaanisen eheyden lämpösyklissä.

Kemiallinen resistenssi on toinen alumiinioksidi -keraamisen käsivarren perustavanlaatuinen positiivinen. Puolijohteiden valmistuksessa tehdään usein kiekkoja, jotka sisältävät vahvoja hapoja, alkalia ja muita aggressiivisia kemikaaleja. Vaikka metalliset komponentit voivat syöpätä tai huuhtoutua epäpuhtauksiin, alumiinioksidi on kemiallisesti inertti, mikä suojaa sekä käsivarren että sen käsittelemien kiekkojen eheyttä. Siksi inertti pidentää komponentin elinkaarta vähentäen samalla saastumisen mahdollisuutta kriittisten prosessivaiheiden aikana, kuten märkäpuhdistus tai kemiallinen höyryn laskeutuminen.

Alumiinioksidi -keraaminen käsivarsi on suunniteltu keskittyen yhteensopivuuteen ja tarkkuuteen. Jokainen käsivarsi on valmistettu tiukan mittatoleransseiksi, varmistaen tarkan kiekkojen kohdistuksen ja liikkumisen sekä yhteensopivuuden automatisoidun kiekkojen käsittelylaitteiden ja robottijärjestelmien kanssa. Sileässä, kiillotetussa pintapinnassa on pieni kitkarajapinta kiekkoon, joka vähentää kiekon naarmuuntumismahdollisuuksia, mikä on välttämätöntä kiekon eheyden/ympäristön puhtauden ja vianopeuden vähentämiselle. Nämä suunnitellut toleranssit varmistavat, että käsivarsi toimii vapaasti nopeatempoisessa korkeassa läpäisyympäristössä ja mahdollistaa sekä ihmisen että täysin automatisoidun puolijohdetyönkulut käsivarsille.

Alumiinioksidi -keraaminen käsivarsi ylittää vain kemiallisen ja mekaanisen suorituskyvyn ja vaikuttaa toiminnan tehokkuuteen ja kustannussäästöihin useilla tasoilla. Keraamisen todistettu kestävä luonne antaa käsivarsille mahdollisuuden ylittää komposiittimateriaalit, kuten muovit tai alumiinia, suunnittelun pitkäikäisyyden suhteen toistuvan mekaanisen kuormituksen perusteella, ja vähentää siten kyseisten operatiivisten seisokkien ja/tai korvauskustannusten määrää. Kyky kestää ankarat ympäristöt sisältävät ympäristön puhtauden, samalla kun se tuottaa vähemmän valmistus keskeytyksiä, mikä johtaa parantuneeseen johdonmukaiseen kiekkojen tuotantoon, ts. Saantoon ja lopulta vähemmän romua, mikä johtaa puolijohdevalmistajien korkeampaan sijoitetun pääoman tuottoon (sijoitetun pääoman tuotto).

VaihtoehdotAlumiiniohjelmaPuolijohdeprosessien ARM on käytännössä loputon - kiekkojen liikkumisesta märkien penkkien, diffuusiouunien ja laskeumakammioiden välillä alustaan ​​ja metrologiatyökaluihin, jotka käyttävät substraatteja. Tämän tuotteen monipuolisuus ei vain salli sen käyttöä kiekkojen käsittelysovelluksissa, vaan myös automaatiotilanteet, joissa vaaditaan myös tarkkuus, puhtaus ja luotettavuus. Puolijohdeteollisuus liikkuu väistämättä kohti pienempiä solmuja ja lisääntynyttä monimutkaisuutta laitteen valmistuksessa, ja kun teollisuus vaatii edelleen parempia käsittelyratkaisuja, jotka ovat luotettavia ja saostumattomia, keraaminen robottivarsi luo selkeän polun eteenpäin.