Sic -sormet

Semicorex -sic -sormet ovat erikoistuneita osia, joiden ensisijaiset sovellukset ovat puolijohdekäsittelylaitteissa, erityisesti kiekkojen käsittely- ja tukijärjestelmissä. Niiden ensisijainen tehtävä on tukea tai pitää kiekkoja paikallaan prosessien, kuten epitaksian, ionin implantaation tai lämpökäsittelyn aikana, joissa ulottuvuuden stabiilisuus tai puhtaus sekä luotettavuus on kriittinen. Piharbidi yhdistää mekaanisen lujuuden erinomaisella lämpö- ja kemiallisella resistanssilla, ja nämä ominaisuudet ovat välttämättömiä edistyneissä puolijohteiden valmistuslinjoissa, joten sic -sormet ovat välttämättömiä sellaisissa sovelluksissa.

MyyntiominaisuuspiikarbidiKoska materiaali on kyky kestää erittäin korkeat käyttölämpötilat menettämättä sen mekaanista eheyttä. Puolijohdeprosesseissa, kuten epitaksiaalikasvu, kiekot kokevat kohonneet lämpötilat yhtäkkiä ja pitkään. Sic-sormet, jotka ovat sitoutuneet, ylläpitävät kohdistustaan ​​ja voimansa koko korkean lämpötilan jaksojen ajan, jotta kiekot pysyvät paikoillaan, minimoimalla liikkumisen muodonmuutoksen tai väärinkäytön välttämiseksi riittävän prosessin tasaisuuden ylläpitämiseksi hyväksyttävän laitteen saannon saavuttamiseksi. SIC-sormet tarjoavat paljon pidemmän palvelun kuin tyypilliset keraamiset tai metallituet, samalla kun ne ovat paljon johdonmukaisempia korkean lämpötilan kuormituksissa.

SiC -sormien keskeinen etu on niiden parempi kemiallinen vastus. Kaikki puolijohdesovellukset sisältävät reaktiivisia kaasuja, altistumista plasmoille ja altistuminen syövyttäville kemikaaleille. Syöpittävä tai rappeutunut materiaali reagoi vapauttamalla hiukkasia tai epäpuhtauksia, jotka voivat heikentää kiekkojen laatua.Piikarbidion kemiallisesti inerttipinta, joka ei kiinnitä tai reagoi aggressiivisiin kemikaaleihin, tuottaen puhtaan prosessiympäristön ja huomattavasti vähentyneen saastumisriskin. Tämä lisää kiekkojen käsittelytyökalun kestävyyttä, mikä vaikuttaa suoraan vakaisiin ja toistettaviin prosessituloksiin, jotka ovat kriittisiä tuotettaessa puolijohdelaitteita, joilla on korkea sato.

Tarkkuus on toinen keskeinen näkökohta sic -sormen suunnittelussa. Kiekkojen käsittely edellyttää komponentteja, joilla on erittäin tiukka toleranssit, mikrometrit voivat aiheuttaa kiekkojen väärinkäytöksiä, lisätä kiekon murtamismahdollisuuksia tai aiheuttaa epäjohdonmukaisuuksia prosesseissa. Hyödyntämällä viimeisintä koneistus- ja kiillotustekniikkaa, sic -sormet voidaan tuottaa korkeimmalla ulottuvuudella toleransseilla ja pinnan tasaisuudella ja sileällä viimeistelyllä. Tämä takaa vakaan, suhteellisen hitausvapaan alustan kiekkojen tueksi, jolla on vähentynyt hiukkasten muodostumisen potentiaali ja toistuva suorituskyky kiekkojen käsittelysovelluksiin automaattisissa puolijohteiden käsittelylaitteissa.

SIC -sormien pohjamateriaalien lisäksi ne voidaan myös tehdä erityisesti jokaisen laitteen tai prosessin vaatimuksen mukaisiksi. Eri kiekkokoot, erilaiset reaktorimallit ja erilaiset operaattorin käsittely vaativat erityisiä valmistettuja ratkaisuja. SIC -sormet voidaan valmistaa missä tahansa geometriassa tai ulottuvuudessa, ja pintakäsittely voidaan soveltaa sopivina tiettyihin sovelluksiin.

SIC -sormet vähentävät myös käyttökustannuksia pitkän käyttökelpoisen käyttöiän (alentava korvaustiheys) ja niiden vähentymisen alenemisen vuoksi lämpö- tai kemiallisen stressin aiheuttaman vikaantumisen tai saostumisen saastumisen vuoksi. Sekä kestävyyden että puolijohteiden valmistajien luotettavuuden myötä sic -sormien hyödyntäminen johtaa lisääntyneeseen käyttöaikaan, alhaisempiin kulutuskustannuksiin ja yleisesti parantuneeseen prosessin tehokkuuteen.

Käytännössä SIC -sormet hyödynnetään pääosin epitaksian kasvureaktoreissa, koska ne tarjoavat vakaan kiekkojen hallussapidon äärimmäisten lämpö- ja kemiallisten prosessien aikana. Niitä käytetään myös ioni -implantereissa tai korkean lämpötilan hehkutuksissa, joissa mekaaninen stabiilisuus, samoin kuin kemiallinen inertti. Sovellusten välillä johdonmukainen suorituskyky antaa niiden käytön myös kiekkojen käsittelyssä kriittisesti prosessin yhdenmukaisuuden, kiekon eheyden ja laadun tarjoamisessa.

Semicorex sic -sormet ovat vahvoja esimerkkejäpiiharbidimateriaali Korkean lämpötilan kohdalla kemialliset kestävät, tarkkuussuunnitellut puolijohdekomponentit. SIC -sormien materiaaliympäristö tarjoaa korkean lämpötilan stabiilisuuden, poikkeuksellisen kemiallisen resistenssin ja kyvyn valmistaa korkeat tarkkuusstandardit. Vahva ja muokattava komponentti on kriittinen stabiilien tuotannon saavuttamiseksi ja puolijohteiden valmistajien parantamiseksi ja kustannustehokkuuden parantamiseksi. SIC -sormet ovat edelleen edistyneitä ja luotettava ratkaisu FABS: lle, joka keskittyy prosessin vakavuuteen ja laadunvarmistukseen.