SiC-pinnoitettuja kiekkotelineitä

SiC-pinnoitteiset Semicorex-kiekkotelineet, jotka ovat olennainen osa epitaksiaalista kasvujärjestelmää, eroavat poikkeuksellisesta puhtaudesta, äärimmäisten lämpötilojen kestävyydestä ja vahvoista tiivistysominaisuuksistaan. Ne toimivat alustana, joka on välttämätön puolijohdekiekkojen tukemisessa ja lämmittämisessä. epitaksiaalikerroksen kerrostumisen kriittinen vaihe, mikä optimoi MOCVD-prosessin yleisen suorituskyvyn. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn piikarbidipinnoitteisia kiekkoalustoja, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex-kiekkojen kantajilla, joissa on piikarbidipinnoite, on erinomainen lämmönkestävyys ja johtavuus, mikä on välttämätöntä tasaisten lämpötilojen ylläpitämiseksi kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) aikana. Tämä varmistaa tasaisen lämmön jakautumisen alustalle, mikä on kriittistä korkealaatuisten ohutkalvo- ja pinnoitusominaisuuksien saavuttamiseksi.

SiC-pinnoitteella varustetut kiekkojen alustat valmistetaan tiukkojen standardien mukaisesti, mikä takaa tasaisen paksuuden ja pinnan sileyden. Tämä tarkkuus on elintärkeää tasaisten kerrostumisnopeuksien ja kalvoominaisuuksien saavuttamiseksi useilla kiekoilla.

SiC-pinnoite toimii läpäisemättömänä esteenä, joka estää epäpuhtauksien diffuusion suskeptorista kiekkoon. Tämä minimoi kontaminaatioriskin, mikä on kriittistä erittäin puhtaiden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. SiC-pinnoitettujen Semicorex-kiekkotelineiden kestävyys vähentää suskeptorien vaihtotiheyttä, mikä vähentää ylläpitokustannuksia ja minimoi puolijohteiden valmistustoiminnan seisokkeja.

Semicorex-kiekkotelineet, joissa on piikarbidipinnoite, voidaan räätälöidä vastaamaan erityisiä prosessivaatimuksia, mukaan lukien koon, muodon ja pinnoitteen paksuuden vaihtelut. Tämä joustavuus mahdollistaa suskeptorin optimoinnin vastaamaan eri puolijohteiden valmistusprosessien ainutlaatuisia vaatimuksia. Räätälöintivaihtoehdot mahdollistavat erikoissovelluksiin, kuten suuren volyymin valmistukseen tai tutkimus- ja kehitystyöhön räätälöityjen suskeptorimallien kehittämisen, mikä varmistaa optimaalisen suorituskyvyn tietyissä käyttötilanteissa.