SiC-pinnoitettu MOCVD-suskeptori

Semicorex on johtava piikarbidipinnoitettujen MOCVD-suskeptoreiden valmistaja ja toimittaja. Tuotteemme on erityisesti suunniteltu puolijohdeteollisuudelle epitaksiaalisen kerroksen kasvattamiseksi kiekkosirulle. Erittäin puhdasta piikarbidilla päällystettyä grafiittipidikettä käytetään MOCVD:n keskilevynä hammaspyörän tai renkaan muotoisena. Suskeptoriamme käytetään laajalti MOCVD-laitteissa, mikä varmistaa korkean lämmön- ja korroosionkestävyyden sekä erinomaisen vakauden äärimmäisissä ympäristöissä.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Yksi piikarbidilla päällystetyn MOCVD Susceptorin merkittävimmistä ominaisuuksista on, että se varmistaa pinnoitteen kaikille pinnoille välttäen irroitumista. Tuotteella on korkeiden lämpötilojen hapettumiskestävyys, joka on stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti. Korkea puhtaus saavutetaan käyttämällä CVD-kemiallista höyrypinnoitusta korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa. Tuotteessa on tiheä pinta, jossa on hienojakoisia hiukkasia, mikä tekee siitä erittäin kestävän hapon, alkalin, suolan ja orgaanisten reagenssien aiheuttamaa korroosiota vastaan.
SiC-pinnoitettu MOCVD-suskeptorimme varmistaa parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion, mikä takaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla. Semicorex tarjoaa kilpailukykyisen hintaedun ja kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Tiimimme on omistautunut tarjoamaan erinomaista asiakaspalvelua ja tukea. Olemme sitoutuneet olemaan sinun pitkäaikainen kumppanisi, joka tarjoaa korkealaatuisia ja luotettavia tuotteita, jotka auttavat liiketoimintaasi kasvamaan.

SiC-pinnoitetun MOCVD-suskeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC-päällystetyn MOCVD-suskeptorin ominaisuudet

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen