SiC-pinnoitettu grafiittisuskeptori MOCVD:lle

Semicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD on hyvä hintaetu ja kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD on erittäin puhdas piikarbidilla päällystetty grafiittikantoaine, jota käytetään prosessissa epiksiaalikerroksen kasvattamiseen kiekon sirulle. Se on MOCVD:n keskilevy, hammaspyörän tai renkaan muoto. SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, jolla on suuri vakaus äärimmäisissä olosuhteissa.
Semicorexilla olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia tuotteita ja palveluita. Käytämme vain parhaita materiaaleja, ja tuotteemme on suunniteltu täyttämään korkeimmat laatu- ja suorituskykyvaatimukset. SiC-pinnoitettu grafiittisuskeptorimme MOCVD:lle ei ole poikkeus. Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja siitä, kuinka voimme auttaa sinua puolijohdekiekkojen käsittelytarpeissasi.

MOCVD:n piikarbidilla päällystetyn grafiittisuskeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen