Semicorex on MOCVD:n piikarbidilla päällystetyn grafiittisuskeptorin luotettava toimittaja ja valmistaja. Tuotteemme on erityisesti suunniteltu palvelemaan puolijohdeteollisuuden tarpeita epitaksiaalisen kerroksen kasvattamisessa kiekon sirulle. Tuotetta käytetään MOCVD:n keskilevynä hammaspyörän tai renkaan muotoisena. Sillä on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi äärimmäisissä ympäristöissä.
Piikarbidilla päällystetyllä grafiittisuskeptorillamme MOCVD:lle on useita keskeisiä ominaisuuksia, jotka erottavat sen kilpailijoista. Se varmistaa pinnoitteen kaikille pinnoille, välttäen irroitumista, ja sillä on korkean lämpötilan hapettumiskestävyys, mikä varmistaa stabiilisuuden jopa korkeissa lämpötiloissa jopa 1600 °C:een. Tuote on valmistettu erittäin puhtaalla CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa. Siinä on tiheä pinta, jossa on hienojakoisia hiukkasia, mikä tekee siitä erittäin kestävän happojen, emästen, suolan ja orgaanisten reagenssien aiheuttamaa korroosiota vastaan.
Piikarbidilla päällystetty grafiittisuskeptorimme MOCVD:lle on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Se estää kontaminaation tai epäpuhtauksien leviämisen varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekkosirussa.
MOCVD:n piikarbidipinnoitteen grafiittisuskeptorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Silicon Carbide Coating Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle
- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen