Kiekkoveneet

Semicorex-kiekkoveneet, jotka on valmistettu korkean puhtaan piikarbidista (sic), ovat välttämättömiä komponentteja puolijohteiden valmistuksessa. Puolijohdeprosessit, joissa niitä käytetään, sisältävät tyypillisesti korkean lämpötilan ja syövyttäviä ympäristöjä, kuten diffuusio-, hapettumis- ja LPCVD-prosessit. SiC -kiekkoveneiden levitys on suunniteltu maksimoimaan lämmön stabiilisuus ja kemiallinen vastus, mikä mahdollistaa pii kiekkojen optimaalisen tuen, kohdistamisen ja kuljetuksen prosessoinnin aikana optimaalisten satojen ja laitteen suorituskyvyn saavuttamiseksi.

Piharbidi on dokumentoitu hyvin erinomaisena lämpöjohtavana keraamisena, ja sillä on suuri mekaaninen lujuus ja erinomainen lämpö iskunkestävyys, hapettumiskestävyys ja aggressiivinen kemiallinen vastus kemikaaleilla, kuten HF ja HCl. SIC: n ominaisuudet tekevät siitä erityisen houkuttelevan kiekkoveneiden materiaalina seuraavan sukupolven puolijohteiden valmistusprosesseihin ja korkean lämpötilan ympäristöihin. SiC -kiekkoveneet voivat ylläpitää rakenteellista eheyttä ja ulottuvuuden stabiilisuutta prosessin lämpötiloissa> 1500 ° C, minimoimalla kiekkojen vääntymisen tai saastumisen riski kriittisissä lämpökäsittelyissä.

Jokainen sickiekkoveneValmistetaan erittäin puhtaasta SIC: stä käyttämällä edistyneitä keraamisia muodostumis- ja sintrausprosesseja, ja se voidaan räätälöidä laajalle kiekkojen halkaisijoille (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) sekä pinoamiskonfiguraatiot riippumatta siitä, olipa ne pystysuora tai vaakasuora. SIC -kiekkoveneet ovat sileät pinnat ja erinomainen tasaisuus, joka minimoi hiukkasten muodostumisen ja ovat ihanteellisia automatisoituihin kiekkojen käsittelyjärjestelmiin.

Kontaminaation hallinta ja sato ovat kaksi kriittisimmistä kysymyksistä nykypäivän FABS: ssä. SiC -kiekkojen kuljettajien puhtaus ja luotettavuus vaikuttavat tuotteen laatu- ja johdonmukaisuusprosessin suorituskykyyn.  SiC -kiekkoveneissä on paljon parempi käyttöä, niillä on vähemmän huoltovaatimuksia ja alhaisemmat TCO: n kuin kvartsi- tai alumiinioksidipohjaiset vaihtoehdot. Parempi pitkäikäisyys tarkoittaa myös vähemmän mikrohiukkasten irtoamisen ongelmia, mikä taas vaikuttaa kiekon pinnan puhtauteen ja vaikuttaa puhtaan huoneen puhtauteen.

Semicorex on keskittynyt sic -kiekkoveneiden suunnitteluun ja valmistukseen, jotka käyttävät korkeimpia mahdollisia puhtaita raaka -aineita yhdistettynä alhaiseen saastumisilmapiirin sintraukseen.  Pyrimme kaikin tavoin ylläpitämään matalaa epäpuhtaustasoa, ylläpitääksemme huokoisuutta alhaisella arvolla ja yhtenäisen mikrorakenteen, jotta ryhmän työ voi säännöllisesti nauttia tasaisista lämpöominaisuuksista, tarkista kiekkoväylästä ja vertaansa vailla olevasta kemiallisesta hajoamiskestävyydestä.

Puolijalokivikiekkoveneetovat välttämättömiä puolijohteiden korkean lämpötilan prosessoinnin elementtiä. Korkeasuhdepidon karbidiset kiekkoveneet ovat vertaansa vailla olevat materiaaliominaisuudet, suunniteltu huippuosaaminen ja mikro-kontaminaatiovapaa temperamentti, jotka tekevät niistä korkean tason valinnan korkean suorituskyvyn kiekkojen valmistukseen. Semicorex tarjoaa luotettavuuden ja innovatiivisen korkean suorituskyvyn tukemaan tärkeimpiä kriittisiä puolijohdeprosesseja.