Kiekkoprosessin lämmitin

Semicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Wafer Process Heaterillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex Wafer Process Heater on valmistettu Silicon Carbide Coating (SiC) -grafiitista, pinnoite levitetään CVD-menetelmällä tietyille korkeatiheyksiselle grafiitille, joten se voi toimia korkean lämpötilan uunissa yli 3000 °C:ssa inertissä ilmakehässä, 2200 °C tyhjössä.
Wafer Process Heater -materiaalin erikoisominaisuudet ja pieni massa mahdollistavat nopeat lämmitysnopeudet, tasaisen lämpötilan jakautumisen ja erinomaisen hallinnan tarkkuuden. Verrattuna muihin materiaaleihin piikarbidin pinta pysyy tasaisena alhaisen lämpölaajenemisensa ansiosta jopa nopeissa lämpötilanvaihteluissa käytettäessä. Keittolevyt sopivat erittäin hyvin vaativiin prosesseihin puolijohdekäsittelyjärjestelmissä.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. Wafer Process Heaterillamme on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

Wafer Process Heaterin parametrit

Tekniset tiedot	VET-M3
Bulkkitiheys (g/cm3)	≥1,85
Tuhkasisältö (PPM)	≤500
Shore-kovuus	≥45
Ominaisvastus (μ.Ω.m)	≤12
Taivutuslujuus (Mpa)	≥40
Puristuslujuus (Mpa)	≥70
Max. Raekoko (μm)	≤43
Lämpölaajenemiskerroin Mm/°C	≤4,4*10-6

Wafer Process Heaterin ominaisuudet

- CVD SiC -pinnoitteet käyttöiän pidentämiseksi.
- Korkean lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, pitkä käyttöikä voi parantaa kiekkojen laatua ja tuottoa.
- Sillä on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin, korkea lämpötilankesto, korkea kulutuskestävyys, hyvä eristys, hyvä kemiallinen stabiilisuus ja lähes violetti (punainen) näkyvän valon tunkeutuminen.

Voimme tarjota hapettumisenesto- ja pitkän käyttöiän grafiittiupokkaan, grafiittimuotin ja kaikki grafiittilämmittimen osat.