Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävän MOCVD-tyhjiökammion kannen on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex-piikarbidilla päällystetty MOCVD-tyhjiökammion kansi, joka on suunniteltu erityisesti näihin haastaviin ympäristöihin. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Semicorex Graphite -komponentit ovat erittäin puhdasta piikarbidilla päällystettyä grafiittia, jota käytetään prosessissa yksikide- ja kiekkoprosessin kasvattamiseen. MOCVD Vacuum Chamber Lid Compound -yhdistelmällä on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, ne kestävät haihtuvien esiastekaasujen, plasman ja korkean lämpötilan yhdistelmän.
Semicorexilla olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia tuotteita ja palveluita. Käytämme vain parhaita materiaaleja, ja tuotteemme on suunniteltu täyttämään korkeimmat laatu- ja suorituskykyvaatimukset. MOCVD-tyhjiökammion kansi ei ole poikkeus. Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja siitä, kuinka voimme auttaa sinua puolijohdekiekkojen käsittelytarpeissasi.
MOCVD-tyhjiökammion kannen parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
MOCVD-tyhjiökammion kannen ominaisuudet
● Erittäin litteät ominaisuudet
● Peilikiillotus
● Poikkeuksellisen kevyt
● Korkea jäykkyys
● Alhainen lämpölaajeneminen
● Erittäin kestävä