Kiekkovene puolijohdeprosessiin

Semicorex tarjoaa kiekkoveneitä, jalustoja ja mukautettuja kiekkotelineitä sekä pysty-/pylväs- että vaakakokoonpanoihin. Olemme olleet piikarbidipinnoituskalvojen valmistaja ja toimittaja useiden vuosien ajan. Wafer Boat for Semiconductor Process -prosessillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex SiC Wafer Boat Semiconductor Processille, paras ratkaisu kiekkojen käsittelyyn ja suojaamiseen puolijohteiden valmistuksessa. Puolijohdeprosessiin tarkoitettu kiekkoveneemme on valmistettu korkealaatuisesta piikarbidista, jolla on hyvä korroosionkestävyys ja erinomainen korkeiden lämpötilojen ja lämpöiskujen kestävyys. Edistyksellinen keramiikka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja plasman kestävyyden samalla, kun se vähentää hiukkasia ja epäpuhtauksia suurikapasiteettisissa kiekkotelineissä.

Wafer Boatin parametrit puolijohdeprosessille

Tekniset ominaisuudet
Indeksi	Yksikkö	Arvo
Materiaalin nimi		Reaktiosintrattu piikarbidi	Paineton sintrattu piikarbidi	Uudelleenkiteytetty piikarbidi
Koostumus		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkkitiheys	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Taivutusvoima	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Puristusvoima	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kovuus	Painike	2700	2800	/
Sitkeys rikkoo	MPa m1/2	4.5	4	/
Lämmönjohtavuus	W/m.k	95	120	23
Lämpölaajenemiskerroin	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ominaislämpö	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max lämpötila ilmassa	℃	1200	1500	1600
Elastinen moduuli	Gpa	360	410	240

Wafer Boatin ominaisuudet puolijohdeprosessiin

Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.