Koti > Tuotteet > Keraaminen > Piikarbidi (SiC) > Kiekkovene puolijohdeprosessiin
Kiekkovene puolijohdeprosessiin
  • Kiekkovene puolijohdeprosessiinKiekkovene puolijohdeprosessiin
  • Kiekkovene puolijohdeprosessiinKiekkovene puolijohdeprosessiin
  • Kiekkovene puolijohdeprosessiinKiekkovene puolijohdeprosessiin
  • Kiekkovene puolijohdeprosessiinKiekkovene puolijohdeprosessiin
  • Kiekkovene puolijohdeprosessiinKiekkovene puolijohdeprosessiin

Kiekkovene puolijohdeprosessiin

Semicorex tarjoaa kiekkoveneitä, jalustoja ja mukautettuja kiekkotelineitä sekä pysty-/pylväs- että vaakakokoonpanoihin. Olemme olleet piikarbidipinnoituskalvojen valmistaja ja toimittaja useiden vuosien ajan. Wafer Boat for Semiconductor Process -prosessillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex SiC Wafer Boat Semiconductor Processille, paras ratkaisu kiekkojen käsittelyyn ja suojaamiseen puolijohteiden valmistuksessa. Puolijohdeprosessiin tarkoitettu kiekkoveneemme on valmistettu korkealaatuisesta piikarbidista, jolla on hyvä korroosionkestävyys ja erinomainen korkeiden lämpötilojen ja lämpöiskujen kestävyys. Edistyksellinen keramiikka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja plasman kestävyyden samalla, kun se vähentää hiukkasia ja epäpuhtauksia suurikapasiteettisissa kiekkotelineissä.


Wafer Boatin parametrit puolijohdeprosessille

Tekniset ominaisuudet

Indeksi

Yksikkö

Arvo

Materiaalin nimi

Reaktiosintrattu piikarbidi

Paineton sintrattu piikarbidi

Uudelleenkiteytetty piikarbidi

Koostumus

RBSiC

SSiC

R-SiC

Bulkkitiheys

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Taivutusvoima

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)

Puristusvoima

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Kovuus

Painike

2700

2800

/

Sitkeys rikkoo

MPa m1/2

4.5

4

/

Lämmönjohtavuus

W/m.k

95

120

23

Lämpölaajenemiskerroin

10-6.1/°C

5

4

4.7

Ominaislämpö

Joule/g 0k

0.8

0.67

/

Max lämpötila ilmassa

1200

1500

1600

Elastinen moduuli

Gpa

360

410

240


Wafer Boatin ominaisuudet puolijohdeprosessiin

Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.



Hot Tags: Wafer Boat puolijohdeprosessille, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept