Pystysuuntainen kiekkovene

Semicorex Vertical Wafer Boat on erityisesti suunniteltu teline useille kiekkoille, joka maksimoi tilan tehokkuuden käsittelykammioissa. Nämä pystysuuntaiset kiekkoveneet ovat muodoltaan tyypillisesti suorakaiteen tai sylinterin muotoisia, ja jokaisessa veneessä on tarkkuuskoneistetut raot tai taskut, jotka on sijoitettu erilleen pitämään yksittäiset kiekot turvallisesti pystyasennossa. Vertical Wafer Boat on valmistettu piikarbidista (SiC), joka kestää erinomaisesti korkeita lämpötiloja, syövyttäviä kemikaaleja ja mekaanista rasitusta, mikä tekee niistä ihanteellisia suojaamaan kiekkoja mahdollisilta vaurioilta.

Puolijohteiden valmistuksen aikana kiekot käyvät läpi lukuisia monimutkaisia ​​prosesseja, mukaan lukien diffuusio-, RTP- ja lämpökentät. Vertical Wafer Boatilla on keskeinen rooli näiden prosessien helpottamisessa toimimalla kiekkojen alustana, mikä mahdollistaa saumattoman siirron eri laitteiden ja vaiheiden välillä. Sen pystysuuntainen suuntaus minimoi jalanjäljen käsittelykammioissa, optimoi suorituskyvyn ja mahdollistaa suurten kiekkoerien tehokkaan käsittelyn.

Semicorex Vertical Wafer Boat on puolijohdekäsittelyn kulmakivi, joka tarjoaa vankan ja luotettavan ratkaisun kiekkojen turvalliseen käsittelyyn ja kuljetukseen valmistusprosessin eri vaiheissa. Sen edistyksellinen muotoilu yhdistettynä piikarbidin poikkeuksellisiin ominaisuuksiin korostaa sen keskeistä roolia huippuluokan puolijohdelaitteiden tuotannossa.