SiC Epi-Wafer Susceptor

Semicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. SiC Epi-Wafer Susceptorillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex toimittaa SiC Epi-Wafer Susceptorin, joka on päällystetty MOCVD:llä, jota käytetään tukemaan kiekkoja. Niiden erittäin puhtaalla piikarbidilla (SiC) päällystetty grafiittirakenne tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden ja tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden sekä kestävän kemiallisen kestävyyden. Hieno SiC-kidepinnoite tarjoaa puhtaan, sileän pinnan, joka on kriittinen käsittelylle, koska koskemattomat kiekot koskettavat suskeptoria monissa pisteissä koko alueellaan.
SiC Epi-Wafer Susceptorimme on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekkosirussa.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC Epi-Wafer Susceptoristamme.

SiC Epi-Wafer Susceptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC Epi-Wafer Susceptorin ominaisuudet

Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.