Piikarbidi-epitaksireseptori

Semicorex tarjoaa piikarbidipinnoitusprosessipalveluita CVD-menetelmällä grafiitin, keramiikan ja muiden materiaalien, kuten piikarbidi-epitaksisusceptorin, pinnalle siten, että erityiset hiiltä ja piitä sisältävät kaasut reagoivat korkeassa lämpötilassa, jolloin saadaan erittäin puhtaita piikarbidimolekyylejä, jotka kerrostuvat pinnoitettujen materiaalien pinta muodostaen SIC-suojakerroksen. Muodostunut SIC on sitoutunut tiukasti grafiittipohjaan, mikä antaa grafiittipohjalle erityisiä ominaisuuksia, jolloin grafiitin pinta on kompakti, huokoinen, korkean lämpötilan, korroosionkestävyys ja hapettumisenkestävyys.
Silicon Carbide Epitaxy Susceptor on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja piikarbidiepitaksisusseptoristamme.

Piikarbidi-epitaksisuskeptorin parametrit

Silicon Carbide Epitaxy Susceptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.