Suskeptorit MOCVD-reaktoreille

Semicorexin Susceptors for MOCVD Reactors ovat korkealaatuisia tuotteita, joita käytetään puolijohdeteollisuudessa erilaisiin sovelluksiin, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Tuotteemme on saatavana hammaspyörän tai renkaan muotoisena, ja se on suunniteltu saavuttamaan korkean lämpötilan hapettumiskestävyys, mikä tekee siitä vakaan jopa 1600 °C:n lämpötiloissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Suskeptorimme MOCVD-reaktoreille on valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa, mikä varmistaa korkean puhtauden. Tuotteen pinta on tiivis, siinä on hienojakoisia hiukkasia ja korkea kovuus, mikä tekee siitä korroosionkestävän happoa, alkalia, suolaa ja orgaanisia reagensseja vastaan.
Suskeptorimme MOCVD-reaktoreille on suunniteltu varmistamaan pinnoite kaikille pinnoille, välttäen kuoriutumista ja saavuttamaan parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion. Tuote takaa lämpöprofiilin tasaisuuden ja estää likaantumisen tai epäpuhtauksien leviämisen prosessin aikana varmistaen laadukkaan lopputuloksen.
Semicorexilla asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

MOCVD-reaktorien suskeptorien parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen