Semicorexin Susceptors for MOCVD Reactors ovat korkealaatuisia tuotteita, joita käytetään puolijohdeteollisuudessa erilaisiin sovelluksiin, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Tuotteemme on saatavana hammaspyörän tai renkaan muodossa ja se on suunniteltu saavuttamaan korkean lämpötilan hapettumiskestävyys, mikä tekee siitä vakaan jopa 1600 °C:n lämpötiloissa.
Suskeptorimme MOCVD-reaktoreille on valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa, mikä varmistaa korkean puhtauden. Tuotteen pinta on tiivis, siinä on hienojakoisia hiukkasia ja korkea kovuus, mikä tekee siitä korroosionkestävän happoa, alkalia, suolaa ja orgaanisia reagensseja vastaan.
Suskeptorimme MOCVD-reaktoreille on suunniteltu varmistamaan pinnoite kaikille pinnoille, välttäen kuoriutumista ja saavuttamaan parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion. Tuote takaa lämpöprofiilin tasaisuuden ja estää likaantumisen tai epäpuhtauksien leviämisen prosessin aikana varmistaen laadukkaan lopputuloksen.
Semicorexilla asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
MOCVD-reaktorien suskeptorien parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle
- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen